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《2010全国玻璃技术交流研讨会论文集》2010年
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坨面形状对CVD合成石英玻璃沉积速率的影响

徐驰  王友军  束忠明  
【摘要】:在化学气相沉积(CVD)合成石英玻璃工艺中,针对不同熔融玻璃坨面形状,采用计算流体动力学(CFD)对炉膛内气流场进行模拟。模拟结果表明坨面形状对沉积过程影响明显:当坨面为球形时,炉膛内部气流场稳定,有利于SiO_2微粒快速沉积;当坨面为平面时,炉膛内部气流紊乱,SiO_2微粒不易沉积。并通过合成实验进行了验证:当SiCl4流量为15g/min时,在合成的初始阶段坨面为平面,炉膛内气流紊乱,平均沉积速率仅为142g/h,效率为46%;当坨面逐渐转变为球形后,炉膛内气流顺畅,火焰稳定,有利于微粒的快速沉积,平均沉积速率和效率分别提高到207g/h和65%。

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