收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

LGS基片的机械化学抛光与表征

陈辉  郑燕青  孔海宽  涂小牛  忻隽  施尔畏  
【摘要】:本文主要讲述硅酸镓镧(LGS)基片的机械化学抛光及其表征结果,并对机械化学抛光中产生的问题进行了讨论。LGS基片一般使用Y切、X面为基准边的小圆片,我们加工了一系列Φ12×0.25mm的LGS基片,并对其进行了测试表征。机械化学抛光后,用白光干涉仪检测了LGS基片的表面粗糙度,一般Ra能达到2nm以下;用频率测试控制LGS基片的厚度,合格LGS基片的频率为5.30±0.05Hz;LGS基片的平行度基本小于0.5λ;抛光面上划痕长度在10um左右,缺陷直径一般在2um左右,可见缺陷总数不大于2个。测试结果显示我们加工的LGS基片已经基本符合了器件使用的要求。但是加工中存在的一些细节问题却大大影响了LGS基片的成品率。因此本文着重对LGS基片机械化学抛光中产生的诸如基片表面凹坑、凸起、划痕等等影响基片质量的因素进行了探讨。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 姚红;张占文;黄勇;李赛;李波;;聚酰亚胺薄膜表面粗糙度的影响因素[J];强激光与粒子束;2011年07期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈辉;郑燕青;孔海宽;涂小牛;忻隽;施尔畏;;LGS基片的机械化学抛光与表征[A];第15届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2009年
2 郑秋云;李明军;舒适;;一类机械化学抛光的磁流体模型及其数值模拟[A];第五届全国青年计算物理学术交流会论文摘要[C];2008年
3 杨军;苑立波;;一种新型双环网络拓扑结构的低相干光纤干涉仪[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
4 张以谟;唐峰;张红霞;贾大功;;数字化扫描干涉仪用于保偏光纤偏振耦合检测[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(B 光学系统设计与制造技术专题)[C];2006年
5 任莉;井文才;唐峰;张以谟;;基于白光干涉的分布式偏振耦合测试系统[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
6 井文才;张以谟;唐锋;李强;周革;贾大功;;采用双折射保偏光纤设计高灵敏度分布式应力传感器[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
7 张文栋;熊继军;薛晨阳;丑修建;;基于白光干涉法的双波段三维形貌测试系统[A];2010中国仪器仪表学术、产业大会(论文集1)[C];2010年
8 陳政雄;邱晟晏;;極化多彩數位全像顯微鏡在曲面量測之應用[A];第三届二十一世纪的实验力学学科发展——海峡两岸实验力学研讨会摘要集[C];2009年
9 陈兴建;孙铁;张伟;;超光滑抛光技术的研究与应用探索[A];第九届全国光电技术学术交流会论文集(下册)[C];2010年
10 叶君建;何钜华;傅思祖;黄秀光;谢志勇;;等熵稀疏靶的制备及靶参数精密测量[A];第五届北京核学会核技术应用学术交流会论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 娄凤伟;双模干涉式光学电压互感器的设计与理论研究[D];燕山大学;2006年
2 荆振国;白光非本征法布里—珀罗干涉光纤传感器及其应用研究[D];大连理工大学;2006年
3 唐锋;白光干涉法保偏光纤偏振耦合测试及其应用[D];天津大学;2005年
4 冯阳;全光纤VISAR技术的研究与应用[D];复旦大学;2011年
5 张继成;(类)金刚石薄膜的微细加工、表征及其在ICF靶制备中的应用[D];中国工程物理研究院;2008年
6 李伟凯;基于因瓦合金电容分压式光纤电压互感器研究[D];燕山大学;2006年
7 蒋建忠;芯片化学机械抛光过程中材料吸附去除机理的研究[D];江南大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 余皡;铝合金汽车轮毂的机械化学抛光方法研究[D];华中科技大学;2009年
2 冯奎景;基于白光干涉原理的三维微表面形貌测量技术研究[D];华中科技大学;2007年
3 王留留;基于白光干涉的绝对距离测量方法的研究[D];合肥工业大学;2009年
4 董翔;全光纤白光干涉仪在光谱测量中的应用[D];复旦大学;2009年
5 倪肖勇;光谱型白光干涉在测距和光学薄膜相位测试中的应用研究[D];浙江大学;2008年
6 贾晓华;纺织钢领新型抛光工艺及其抛光机理的研究[D];江南大学;2008年
7 薛柯明;非本征光纤法布里—珀罗传感器解调方法研究[D];沈阳理工大学;2009年
8 钟雨航;CdSe探测器晶片表面处理和钝化研究[D];四川大学;2007年
9 吴平辉;基于倏逝场的微纳光纤传感器的研究[D];浙江工业大学;2010年
10 张聪跃;光纤寄生偏振耦合白光干涉仪光学系统设计[D];天津大学;2004年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978