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提拉法制备耐刮擦SiO_2减反膜

沈军  谢志勇  欧阳玲  邬镝  罗爱云  王生钊  王晓栋  
【摘要】:以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,采用碱/酸两步催化法制备出SiO2溶胶,在未钢化的玻璃表面经提拉法制备 SiO2薄膜,利用玻璃的钢化过程对薄膜进行热处理。使用场发射扫描电子显微镜、原子力显微镜、椭偏仪、傅立叶红外光谱、分光光度计等分析了薄膜的特性。实验结果表明经过玻璃的钢化后,薄膜反射率峰值为0.17%,在400-800nm的波长范围内平均反射率较镀膜前下降了5%以上,同时薄膜具有较好的耐刮擦性能。

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