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《中国硅酸盐学会特种玻璃分会第三届全国特种玻璃会议论文集》2007年
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离子注入形成SiC纳米颗粒的发光性能研究

李慧  卢卓宇  蒋昌忠  任峰  肖湘衡  蔡光旭  
【摘要】:用离子注入法将Si、C离子注入到非晶二氧化硅中,样品分别在600℃,800℃和1 100℃进行了退火,并在 1 100℃时作了1 h、2 h、3 h和4.5 h的退火。用透射电镜(TEM)和光致发光(PL)研究了退火温度以及退火时间对样品的微结构和发光特性的影响。实验表明,退火后样品中形成了SiC纳米颗粒,PL谱中观察到了缺陷和SiC纳米颗粒的发光。

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【参考文献】
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