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《玻璃新技术报告文集》2004年
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高产Low-E玻璃镀膜系统在设备、技术和工艺上的先进性

史帝夫·纳德尔  
【摘要】:正 当今所生产的高性能低辐射产品是复杂的多层膜系,它要求很多的沉积材料以及可以有效沉积的溅射源。沉积的每个膜层必须具有极高的均匀性,这样才能确保成品颜色色差极小。高性能产品必须满足耐久性、抗磨损以及热处理等方面的需要。来自供应商在价格上的压力更要求生产设备具有次品率低、产量高和连续生产时间长的优点。为了保证产品的可再现性生产,在高速沉积时工艺必须非常稳定。同时,市场对产品的多样性的需求,要求生产系统具有很高的灵活性,从而在需要生产不同种类产品时,能够简易而快速地调整设备配置。所有这些都要求设备供应商不断地提高他们所生产的系统的性能。
【分类号】:TQ171.6

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