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用无醇盐溶胶-凝胶法制备Pr_(0.7)Ca_(0.3)MnO_3薄膜

王群  董睿  陈立东  
【摘要】：正钙钛矿相结构的稀土掺杂锰氧化物R_(1-x)A_xMnO_3 (其中R=La,Nd,Pr;A=Ca,Sr,Ba,Pb)因其独特的磁学、电学及结构相交特性而成为凝聚态物理的国际前言课题,是新一代高密度信息记录技术发展的载体,其中Pr_(1-x)Ca_xMnO_3材料有着独特的绝缘-金属相转变性质,因此在近期的研究中倍受瞩目。高密度信息记录技术的发展要求人们制备出低成本、高产率的功能薄膜材料来满足其市场应用。目前Pr_(1-x)Ca_xMnO_3薄膜通常采用脉冲激光沉积或直流磁控溅射技术来制备。而溶胶-凝胶法是一种简单易行的化学制备方法,其特点是微结构均匀、晶化温度低、易于实现元素掺杂、薄膜成分及形貌可控。为此,以溶胶-凝胶方法合成了Pr_(0.7)Ca_(0.3)MnO_3薄膜,研究了合成条件对钙钛矿成相及薄膜结构的影响。实验中分别以石英及Si/SiO_2/Ti/Pt为衬底制备出了Pr_(0.7)Ca_(0.3)MnO_3纳米晶薄膜。XRD测试分析表明,Pr_(0.7)Ca_(0.3)MnO_3的晶化开始于625℃,到660℃完全转变为钙钛矿相。红外光谱分析表明在Pr_(0.7)Ca_(0.3)MnO_3形成过程中存在着一系列复杂的反应:随着热处理温度的升高,低于700cm~(-1)

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