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《第13届全国计算机、网络在现代科学技术领域的应用学术会议论文集》2007年
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遗传算法在软X射线薄膜反射率多参数拟合中的应用

陈凯  崔明启  郑雷  赵屹东  
【摘要】:薄膜的光学常数、厚度以及表面粗糙度是表征薄膜宏观性质的重要物理最。本文通过全局优化算法——遗传(GA)算法来拟合软 X 射线反射率数据得到薄膜的光学特性参数。文章介绍了遗传算法的工作原理和薄膜参数拟合中的详细实施步骤,并对薄膜的理论计算及实验测量反射率分别进行分析,计算表明遗传算法在软 X 射线薄膜反射率多参数拟合中有较高的精度和较快的运算速度,可以无损获得薄膜光学特性参数,具有一定实用价值。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【共引文献】
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中国博士学位论文全文数据库 前1条
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【二级参考文献】
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【相似文献】
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