收藏本站
《第四届中国核学会省市区“三核”论坛论文集》2007年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

辐照对碳氮薄膜结构和硬度的影响

肖青平  杨斌  吴萍  郝建钢  
【摘要】:正非晶碳氮薄膜由于具有良好的物理性质而备受关注,在防护涂层、电子学器件以及生物医学等领域有着广阔的应用前景。辐照是常用的材料改性手段之一。本文通过双对向靶直流磁控溅射法制备了非晶碳氮薄膜,并对制备后的样品进行电子束辐照,研究了电子束辐照对薄膜结构和力学性质的影响。结构分析表明,经电子束辐照后,由于薄膜表面处发生氮化和氧化,各氮分压条件下制备的薄膜中氮含量均有不同程度的提高,最大值为25.4%。薄膜表面各元素的价键结构在辐照后有了较大改变。由于电子束对薄膜的电离和位移效应,薄膜内 sp~3C 键被破坏,形成未饱和的 sp~2C 悬键并形成 sp~2团簇,薄膜更加趋于石墨化。纳米刻痕测试表明,辐照后由于结构的变化使薄膜硬度有所下降。

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 卢宝文;徐学科;余祥;范正修;;不同沉积速率下热蒸发银膜的光学性能和结构分析[J];光学学报;2010年01期
2 钟凤兰;贺小光;;富铁硼化物t-Fe_3B的价电子结构分析[J];东北师大学报(自然科学版);2006年01期
3 马礼敦;;同步辐射装置——上海光源及其应用[J];理化检验(物理分册);2009年11期
4 庞宏杰;王存山;张凯舒;苏元军;裴继斌;;非晶硅薄膜激光晶化及其结构分析[J];应用激光;2007年01期
5 徐跟建;谭伟石;曹辉;邓开明;吴小山;;非化学计量配比La_(0.67)Sr_(0.33-x)□_xMnO_3的结构和输运性质的研究[J];物理学报;2009年01期
6 王博;孙润广;张静;;超声波强化提取对茯苓水溶性多糖结构影响的研究[J];应用声学;2009年03期
7 闫永辉,冯贤平,施芸城,唐晓亮;碳氮薄膜的制备及其拉曼光谱研究[J];物理实验;2004年09期
8 傅广生,于威,王淑芳,李晓苇,张连水,韩理;辉光放电等离子体辅助XeCl准分子激光溅射沉积碳氮薄膜[J];物理学报;2001年11期
9 曾宪堂,杜树斌,李景文,江历阳,陈华中,于洪伟,C.Jupen,I.Martinson,李月明,邱玉波;Br元素类Ne离子的2p~53s、3p和3d结构分析[J];中国原子能科学研究院年报;1999年00期
10 周益春;电子束辐照铝圆柱壳时能量沉积及冲击载荷的估算[J];光电子.激光;1992年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 肖青平;杨斌;吴萍;郝建钢;;辐照对碳氮薄膜结构和硬度的影响[A];第四届中国核学会省市区“三核”论坛论文集[C];2007年
2 陆斌;张庶元;曹光旱;谭舜;杨丽;李方华;;新材料NdCa_2Co_4O_Y的晶胞测定和调制结构分析[A];第七次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1993年
3 杨林涛;梁敬魁;宋功宝;常虹;刘泉林;饶光辉;;化合物FeSr_2NdCu_2O_(7±δ)的晶体结构和性能的研究[A];第八届全国X射线衍射学术会议论文集[C];2003年
4 杨斌;;应用辐照方法研制β-C_3N_4薄膜技术初探[A];第四届中国核学会省市区“三核”论坛论文集[C];2007年
5 陈小龙;;多晶X射线结构分析的一些进展及新化物结构测定[A];第八届全国X射线衍射学术会议论文集[C];2003年
6 朱静;蔺锡伟;冯孙齐;朱星;;Bi—Sr—Ca—Cu—O系超导材料结构分析[A];第五次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1988年
7 高基伟;杨辉;;锐钛矿晶体的液相原位制备及结构分析[A];《硅酸盐学报》创刊50周年暨中国硅酸盐学会2007年学术年会论文摘要集[C];2007年
8 徐曙;潘麟章;田丰;吴雁;;高温NMR探头[A];第四届全国波谱学学术会议论文摘要集[C];1986年
9 吴现成;王印月;;室温溅射制备的α-SiCN:H膜的结构和光电特性研究[A];材料科学与工程技术——中国科协第三届青年学术年会论文集[C];1998年
10 郑蔚;梁凯峰;张进修;;BaTiO_3陶瓷的内耗特性及相变动力学研究[A];内耗与超声衰减——第三次全国固体内耗与超声衰减学术会议论文集[C];1991年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 高敏;破解“消光”晶体学的古老难题[N];科技日报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前9条
1 刘东光;纳米结构碳氮基薄膜的设计与机械性能[D];浙江大学;2011年
2 廖乃镘;氢化非晶硅薄膜制备及其微结构和光电性能研究[D];电子科技大学;2009年
3 王广甫;磁过滤脉冲阴极真空弧放电沉积系统的研制及合成薄膜研究[D];北京师范大学;1999年
4 沈宏;氮气放电在氮掺杂及氮化物合成中的应用[D];复旦大学;2006年
5 王琦;含类富勒烯氢化碳膜的制备及其特性研究[D];兰州大学;2009年
6 张冶金;半导体量子阱激光器理论模型的研究及其在计算机模拟中的应用[D];吉林大学;2001年
7 段辉高;10纳米以下图形电子束曝光的研究[D];兰州大学;2010年
8 于威;晶态氮化碳薄膜沉积及其生长机理研究[D];河北大学;2002年
9 郭星原;ZnO晶须和TiO_2单晶的浮区法生长及其光谱研究[D];吉林大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 曹辉;CaCu_xMn_(3-x)Mn_4O_(12)的结构和磁电阻性质的研究[D];南京理工大学;2007年
2 赵倩;钙钛矿型复合氧化物Ln_(1-x)Sr_xFeO_(3-δ)(Ln=La, Nd)的合成和电输运性能研究[D];内蒙古大学;2006年
3 徐跟建;非化学配比La_(0.67)Sr_(0.33-x)□_xMnO_3的结构和输运性质的研究[D];南京理工大学;2007年
4 葛坚坚;热处理制度对非化学配比La_(0.67)Sr_(0.18)□_(0.15)MnO_(3-δ)结构和输运性质的影响[D];南京理工大学;2008年
5 吴坚清;非晶态碳膜和碳氮薄膜的结构与性质[D];天津大学;2008年
6 曹乐千;C_(60)的制备及其掺银薄膜的结构分析[D];四川大学;2003年
7 王存霞;强流脉冲电子束辐照ZrO_2陶瓷涂层表面改性[D];大连理工大学;2011年
8 邬洋;磁控溅射法所沉积SiN_x非晶薄膜的结构分析及发光特性研究[D];北京交通大学;2008年
9 门高夫;Sr_2FeMoO_6及其复合体系的制备和电磁特性研究[D];中南大学;2007年
10 曾松军;电子晶体学中的相位问题及快速模拟计算研究[D];湘潭大学;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026