收藏本站
《中国科协2005年学术年会论文集——核科技、核应用、核经济论坛》2005年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

同位素纯硅半导体器件研制及性能测试

张小章  邓宁  周明胜  
【摘要】:采用气体离心机方法分离得到丰度为99.5%的SiHCl3气体。利用SiHCl3作为反应气体,采用超高真空CVD方法在普通硅片上得到硅-28外延膜。在标准生产工艺线上制造得到硅-28二极管。利用半导体参数测试仪测量二极管的I-V曲线,并与同工艺天然硅二极管进行比较。两批都实验结果发现,硅-28二极管的反向击穿电压有了较大程度的增加,大约分别从45 V提高到80V,80V 提高到140V左右。关于其中机理目前尚未清楚,但相信同位素外延膜在其中起到重要作用。

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张文俊;;微波器件的最佳半导体材料[J];微纳电子技术;1972年04期
2 ;·百花苑·[J];国外测井技术;2003年02期
3 ;国内要闻[J];电子工业专用设备;2005年04期
4 崔晓英;;SiC半导体材料和工艺的发展状况[J];电子产品可靠性与环境试验;2007年04期
5 张英杰;邓爱红;幸浩洋;龙娟娟;喻菁;于鑫翔;程祥;;正电子深能级瞬态谱在Ga As缺陷研究中的应用[J];四川大学学报(自然科学版);2008年03期
6 达小丽;沈光地;刘建平;牛南辉;朱彦旭;梁庭;邹德恕;郭霞;;等离子体处理对GaN发光二极管性能影响[J];北京工业大学学报;2008年07期
7 阮剛;;半导体固体电路介绍[J];物理;1962年03期
8 林兰英;;半导体材料发展的现况和趋势[J];物理;1966年01期
9 谢祥寿;陆梓康;;上海半导体材料发展概况——为Semicon/Shanghai展览会而作[J];上海有色金属;1988年03期
10 林秀华;彭万华;;亚洲“四小龙”半导体光电技术及其产业的发展[J];半导体光电;1993年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张小章;邓宁;周明胜;;同位素纯硅半导体器件研制及性能测试[A];中国科协2005年学术年会论文集——核科技、核应用、核经济论坛[C];2005年
2 陈绍勇;周伟华;吴云华;林昭进;;稳定同位素δ~(13)C在南沙群岛海域珊瑚礁生态系统中的分布[A];第六届广东海洋湖沼学会、第五届广东海洋学会会员代表大会暨学术讨论会论文摘要汇编[C];2000年
3 李荣西;David Polya;;单个流体包裹体稳定同位素无损测试研究[A];中国矿物岩石地球化学学会第12届学术年会论文集[C];2009年
4 周明胜;张永刚;董金平;;离心法生产氙同位素技术研究[A];第三届(2005年)同位素技术与应用学术研讨会会议文集[C];2005年
5 林治洲;李公亮;王丽琴;金凯;;稳定同位素的电磁分离[A];2007年全国质谱学会无机质谱、同位素质谱、质谱仪器和教育学专业委员会学术交流会论文集[C];2007年
6 胡睿;张华明;王关全;熊晓玲;杨玉青;魏洪源;;一种用于曲面核电池的镍膜制备工艺初探[A];第十届中国核靶技术学术交流会摘要集[C];2009年
7 陈接胜;;微孔晶体SAPO-44对Se及HgI_2半导体粒子的组装[A];材料科学与工程技术——中国科协第三届青年学术年会论文集[C];1998年
8 张彤;程维娜;曾实;;关于质谱分析不同元素同位素的讨论[A];中国真空学会五届三次理事会暨学术会议论文集[C];2002年
9 侯立军;刘敏;许世远;欧冬妮;余婕;;长江口潮滩沉积物中C、N稳定同位素时空变化特征[A];中国地理学会2004年学术年会暨海峡两岸地理学术研讨会论文摘要集[C];2004年
10 孟庆芳;张养军;钱小红;;基于cICAT技术和LC-MALDI-TOF-TOF的蛋白定量方法的研究[A];中国蛋白质组学第三届学术大会论文摘要[C];2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 上海新阳半导体材料股份有限公司总工程师 孙江燕;半导体材料本地化需求趋增[N];中国电子报;2010年
2 常丽君;辉钼有望代替硅成为新一代半导体材料[N];科技日报;2011年
3 记者 李锐;上海新阳欲做世界一流半导体材料供应商[N];上海证券报;2011年
4 ;东汽峨半:勇做中国半导体材料行业的领跑者[N];中国有色金属报;2008年
5 牟驱;稳定同位素助人擒“龙”捉“虎”[N];中国石油报;2002年
6 ;中外科学家共同发现两种新型半导体材料[N];人民邮电;2002年
7 ;新政策对半导体材料业有积极作用[N];中国电子报;2009年
8 本报记者 三木;半导体材料寻求行业突破[N];中国高新技术产业导报;2003年
9 记者任建民;科学家发现新一代半导体材料[N];人民日报;2002年
10 京新;科学家发现新一代半导体材料[N];中国有色金属报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 孔晋芳;氧化锌基半导体材料的拉曼光谱研究[D];上海交通大学;2009年
2 俞琳;非磁性离子掺杂宽带隙半导体磁性的第一性原理研究[D];山东大学;2010年
3 赖康荣;几种铋基半导体材料的电子结构及光催化性质的理论研究[D];山东大学;2012年
4 王威;配位型有机/无机复合半导体材料的结构与性质研究[D];清华大学;2009年
5 朱金广;多层半导体材料中光学声子的辅助共振隧穿[D];内蒙古大学;2012年
6 刘金章;一维纳米功能材料的制备与特性研究[D];兰州大学;2006年
7 俞笑竹;新型半导体材料的制备及性能研究[D];上海交通大学;2012年
8 王焯;松科一井南孔白垩纪中期介形类化石壳体稳定同位素及微量元素研究[D];中国地质大学(北京);2010年
9 何燕;半导体材料的磁性及高压相变的研究[D];浙江大学;2010年
10 孙立;水稻硅同位素组成及分馏机理[D];浙江大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 朱芳;有机功能半导体材料的设计合成与性能研究[D];大连理工大学;2010年
2 陈美良;有机—无机半导体材料界面的结构和电子态研究[D];浙江大学;2009年
3 王一鹏;等离子体浸没注入技术对半导体材料的改性研究[D];复旦大学;2010年
4 陈玉明;半导体材料带隙宽度的尺寸和温度效应研究[D];湘潭大学;2011年
5 叶茂群;阶跃光激励下的半导体光热光偏转现象[D];浙江师范大学;2011年
6 郭莉;半导体材料的飞秒激光微纳加工[D];吉林大学;2010年
7 贾金乾;掺杂SnO_2半导体固溶体电极的结构与性能研究[D];太原理工大学;2012年
8 于峰;SnO_2基半导体材料的电子结构和光学性质研究[D];济南大学;2010年
9 张满;半导体材料制造企业实施清洁生产的问题和对策分析[D];首都经济贸易大学;2008年
10 魏屹;硅基化合物材料的发光特性研究[D];四川师范大学;2010年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026