金刚石薄膜X射线弹性常数的计算
【摘要】:CVD 金刚石薄膜中存在的晶体学织构导致金刚石薄膜的 X 射线弹性常数也呈现各向异性。用 Voigt、Reuss 和 Hill 模型计算了各向同性和具有理想纤维织构的 CVD 金刚石薄膜的 X 射线弹性常数矩阵,结果表明:材料的弹性矩阵强烈地依赖于材料的晶体学织构,材料弹性矩阵的对称关系从立方转变为六方对称关系,与各向同性薄膜的弹性矩阵相差很大。为了定量地分析晶体学织构对 X 射线弹性常数的影响,用取向分布函数(ODF)法推导了 X 射线弹性常数与晶体学织构系数的关系表达式。
|
|
|
|
1 |
朱宏喜;鱼敏英;刘玉亮;田保红;赵清坡;;孪晶对CVD金刚石薄膜宏观织构组分的影响[J];科学技术与工程;2009年13期 |
2 |
朱宏喜;顾超;任凤章;田保红;;CVD金刚石薄膜宏观织构的形成过程[J];科学技术与工程;2011年12期 |
3 |
朱宏喜;毛卫民;冯惠平;吕反修;Vlasov I I;Ralchenko V G;Khomich A V;;甲烷浓度对CVD金刚石薄膜晶体学生长过程的影响[J];无机材料学报;2007年03期 |
4 |
赵海阔;雒向东;;磁控溅射Cu膜的织构与残余应力[J];半导体技术;2009年02期 |
5 |
朱宏喜;毛卫民;吕反修;李全安;郭辉;;CVD自支撑金刚石薄膜微观孪晶的EBSD研究[J];物理测试;2008年04期 |
6 |
朱宏喜;鱼敏英;刘玉亮;王强松;;CVD金刚石薄膜微区孪晶的研究[J];科学技术与工程;2009年18期 |
7 |
魏秋平;王玲;余志明;陈永勤;马莉;龙航宇;;进气方式对热丝CVD制备金刚石薄膜的影响[J];中国表面工程;2009年06期 |
8 |
魏秋平;宋玉波;余志明;胡应涛;尹登峰;马莉;;酸刻蚀处理对Si(100)和Si(111)上制备CVD金刚石膜的影响[J];中南大学学报(自然科学版);2011年03期 |
9 |
;其它[J];中国光学与应用光学文摘;1998年04期 |
10 |
郑昌琼;冉均国;;日本金刚石薄膜研究发展动态[J];新型炭材料;1991年Z1期 |
11 |
郑昌琼;冉均国;;日本金刚石薄膜研究发展动态[J];材料科学与工程学报;1992年02期 |
12 |
毛卫民;朱宏喜;陈冷;冯惠平;吕反修;;CVD自支撑金刚石薄膜中的宏观织构与微观孪晶[J];无机材料学报;2006年01期 |
13 |
魏秋平;余志明;马莉;游小龙;丰杰;吴晓斌;刘王平;;YG13硼化处理后沉积气压对金刚石薄膜的影响[J];中国有色金属学报;2007年05期 |
14 |
Gordon Graff;张光宇;;金刚石能[J];世界科学;1990年10期 |
15 |
郭志猛,殷声,赖和怡;氢气在氢-氧-乙炔火焰法合成金刚石薄膜中的作用[J];科学通报;1991年08期 |
16 |
唐璧玉,靳九成,陈宗璋;硬质合金YG8上金刚石薄膜的成核研究[J];材料科学与工程;1998年01期 |
17 |
方志杰,郭进,邓文;混合稀土对AB_5贮氢合金织构生长特性影响的PLS研究[J];广西大学学报(自然科学版);2002年03期 |
18 |
汤乡成美;潘鼎;;由等离子CVD法研制金刚石的生长[J];新型炭材料;1987年02期 |
19 |
唐敦乙,林书铨,刘志敏,沈伯礼,陈培基;合成金刚石薄膜生长工艺的研究[J];上海交通大学学报;1997年03期 |
20 |
魏秋平;余志明;马莉;胡德莹;李媛;刘王平;肖和;;YG6硼化综合处理后基体温度对金刚石薄膜的影响[J];中国表面工程;2006年06期 |
|