金刚石薄膜X射线弹性常数的计算
【摘要】：CVD 金刚石薄膜中存在的晶体学织构导致金刚石薄膜的 X 射线弹性常数也呈现各向异性。用 Voigt、Reuss 和 Hill 模型计算了各向同性和具有理想纤维织构的 CVD 金刚石薄膜的 X 射线弹性常数矩阵,结果表明:材料的弹性矩阵强烈地依赖于材料的晶体学织构,材料弹性矩阵的对称关系从立方转变为六方对称关系,与各向同性薄膜的弹性矩阵相差很大。为了定量地分析晶体学织构对 X 射线弹性常数的影响,用取向分布函数(ODF)法推导了 X 射线弹性常数与晶体学织构系数的关系表达式。
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