金刚石薄膜X射线弹性常数的计算

【摘要】：CVD 金刚石薄膜中存在的晶体学织构导致金刚石薄膜的 X 射线弹性常数也呈现各向异性。用 Voigt、Reuss 和 Hill 模型计算了各向同性和具有理想纤维织构的 CVD 金刚石薄膜的 X 射线弹性常数矩阵,结果表明:材料的弹性矩阵强烈地依赖于材料的晶体学织构,材料弹性矩阵的对称关系从立方转变为六方对称关系,与各向同性薄膜的弹性矩阵相差很大。为了定量地分析晶体学织构对 X 射线弹性常数的影响,用取向分布函数(ODF)法推导了 X 射线弹性常数与晶体学织构系数的关系表达式。

【作者单位】：北京科技大学材料科学与工程学院
【分类号】：TB383.2

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1	张铭,何家文;具有丝织构TiN薄膜弹性常数的计算[J];自然科学进展;2001年02期

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前1条

1	张铭,郑茂盛,何家文;用几何平均模型计算多晶材料的X射线弹性常数[J];材料研究学报;2001年05期

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3	朱宏喜;毛卫民;冯惠平;吕反修;Vlasov I I;Ralchenko V G;Khomich A V;;甲烷浓度对CVD金刚石薄膜晶体学生长过程的影响[J];无机材料学报;2007年03期
4	赵海阔;雒向东;;磁控溅射Cu膜的织构与残余应力[J];半导体技术;2009年02期
5	朱宏喜;毛卫民;吕反修;李全安;郭辉;;CVD自支撑金刚石薄膜微观孪晶的EBSD研究[J];物理测试;2008年04期
6	朱宏喜;鱼敏英;刘玉亮;王强松;;CVD金刚石薄膜微区孪晶的研究[J];科学技术与工程;2009年18期
7	魏秋平;王玲;余志明;陈永勤;马莉;龙航宇;;进气方式对热丝CVD制备金刚石薄膜的影响[J];中国表面工程;2009年06期
8	魏秋平;宋玉波;余志明;胡应涛;尹登峰;马莉;;酸刻蚀处理对Si(100)和Si(111)上制备CVD金刚石膜的影响[J];中南大学学报(自然科学版);2011年03期
9	;其它[J];中国光学与应用光学文摘;1998年04期
10	郑昌琼;冉均国;;日本金刚石薄膜研究发展动态[J];新型炭材料;1991年Z1期

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1	陈冷;张建升;;金刚石薄膜X射线弹性常数的计算[A];第十二届中国体视学与图像分析学术会议论文集[C];2008年
2	朱宏喜;毛卫民;冯惠平;;CVD自支撑金刚石薄膜微区织构的EBSD检测分析[A];2005年全国计算材料、模拟与图像分析学术会议论文集[C];2005年
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5	覃继宁;张荻;张国定;王文龙;Jae-chul Lee;;SiC颗粒增强6061铝基复合材料ECAP过程的织构研究[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
6	严峰;赵敏;吴昆;;SiC_w/MB15镁基复合材料超塑性变形过程中的织构分析[A];复合材料：生命、环境与高技术——第十二届全国复合材料学术会议论文集[C];2002年
7	王惠民;张武;;残余应力对复合材料横向拉伸和压缩性能的影响[A];第四次全国环氧树脂应用技术学术交流会论文集[C];1991年
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9	唐武;房永思;邓龙江;徐可为;;微波集成电路中Au／NiCr／Ta多层薄膜残余应力的研究[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年
10	杨平;孟利;王玉峰;崔凤娥;毛卫民;;利用EBSD技术分析银薄膜中的晶粒异常生长、孪晶及织构[A];2005年全国计算材料、模拟与图像分析学术会议论文集[C];2005年

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3	东北大学博士生导师教授孙旭东;快速发展的功能材料专业[N];中国教育报;2011年

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1	吴化平;具有择优取向的多晶铁电薄膜的力学性能研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
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中国硕士学位论文全文数据库

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3	陈志红;硬质合金基体/HFCVD金刚石薄膜制备及薄膜织构的研究[D];中南大学;2005年
4	马碧涛;残余应力对压痕实验中压力—压痕深度曲线的影响[D];哈尔滨工业大学;2007年
5	章莎;用纳米压痕法表征电沉积镍镀层薄膜的残余应力[D];湘潭大学;2006年
6	荆琦;纳米结构WC/12Co涂层精密磨削表面残余应力的实验研究与有限元模拟[D];湖南大学;2005年
7	王彦龙;残余应力的超声波检测研究[D];西安科技大学;2005年
8	邱诗龙;Ti6Al4V和工业纯钛表面纳米化与性能研究[D];大连交通大学;2005年
9	崔光华;深冷处理对铝基复合材料性能的影响[D];上海交通大学;2009年
10	张东灿;金刚石薄膜和类金刚石薄膜摩擦学性能试验及其应用研究[D];上海交通大学;2010年

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