收藏本站
《第二届全国背散射电子衍射(EBSD)技术及其应用学术会议暨第六届全国材料科学与图像科技学术会议论文集》2007年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

CVD-W晶粒取向和晶界结构的EBSD研究

孙红婵  李树奎  候岳翔  鲁旭东  郭伟  
【摘要】:采用电子背散射衍射技术(EBSD)测定了化学气相沉积纯钨(CVD-W)的晶粒取向和晶界分布特征,研究化学气相沉积方法制备纯钨的组织和晶界结构的特点。测试结果表明: CVD-W 生长组织具有三个生长区,分别是等轴晶区、混合生长晶区和柱状晶区;柱状晶区的晶粒具有显著的〈001〉择优生长;低 ZCSL 晶界占据较大比例,其中以∑3、∑5为主要结构,∑3的出现频率最大。研究认为 CVD-W 的晶粒取向和品界结构特点与沉积组织的生长特点密切相关。

手机知网App
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 鲁照权;郑国俊;董学平;殷礼胜;彭海军;余波;;基于低阶自适应模型及时滞补偿的单晶硅直径控制研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2010年04期
2 邓树军;高宇;姜舰;戴小林;吴志强;刘冰;;热场结构对直拉硅单晶生长能耗影响分析[J];半导体技术;2010年12期
3 王元元;刘玉存;王建华;刘登程;;降感RDX的制备及晶形控制[J];火炸药学报;2009年02期
4 张国志;冯妍卉;张欣欣;聂红;;定向凝固过程中的流动效应[J];北京科技大学学报;2008年05期
5 郝保红;刘东阳;田庄;;酸性环境下一维纳米AlOOH聚集体形态及“生长基元”模型[J];北京石油化工学院学报;2011年02期
6 郝保红;纪艳娇;刘东阳;;碱性环境下二维纳米AlOOH聚集体形态及“生长基元”运动[J];北京石油化工学院学报;2011年03期
7 廖福成,王自东,刘贺平;二维稳态晶体生长浓度控制方程的精确解[J];北京工商大学学报(自然科学版);2004年05期
8 孙广年;于旭东;沈才卿;;泡生法生长高质量蓝宝石的原理和应用[J];宝石和宝石学杂志;2007年04期
9 方静华,项金钟,周桢来,吴兴惠;纳米金刚石薄膜的制备特点及特性[J];材料导报;2003年10期
10 韩杰才;李长青;张明福;左洪波;孟松鹤;姚泰;;单晶水平定向凝固法[J];材料导报;2006年07期
中国重要会议论文全文数据库 前8条
1 徐建中;尚俊敏;唐婷婷;屈红强;;疏水氢氧化镁的制备及其在阻燃PVC中的应用[A];2012年中国阻燃学术年会论文集[C];2012年
2 洪广言;王丽萍;董相廷;余大书;孙小琳;;溶胶—凝胶技术在功能材料制备中的应用[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
3 武安华;申慧;徐家跃;小川贵代;和田智之;;光学浮区法生长技术及其在晶体生长中的应用[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(10)[C];2007年
4 何知宇;赵北君;朱世富;任锐;温才;叶林森;钟雨航;王立苗;杨慧光;;气相生长硒化镉单晶体的生长速度研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(10)[C];2007年
5 姜文伟;陈响明;;氧化钨微观结构的研究[A];2010(南昌)中西部第三届有色金属工业发展论坛论文集[C];2010年
6 赵岩;林树坤;;软X射线分光晶体四氢化邻苯二甲酸氢十四酯[A];中国化学会第26届学术年会晶体工程分会场论文集[C];2008年
7 张士成;陈炳辰;韩跃新;;水热法制备陶瓷粉[A];第六届全国粉体工程学术大会暨2000年全国粉体设备-技术-产品交流会会议文集[C];2000年
8 郝保红;方克明;向兰;柳强;;纳米AIOOH在不同PH介质中的水热结晶机制和界面模型[A];颗粒学前沿问题研讨会——暨第九届全国颗粒制备与处理研讨会论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 孙勇;碱土金属钼酸盐微晶的电化学合成与发光性能研究[D];中国建筑材料科学研究总院;2010年
2 李亮;浮区法生长Zn_2TiO_4、ZnNb_2O_6和MgNb_2O_6单晶及性能研究[D];吉林大学;2011年
3 赵文东;铁基粉末触媒合成金刚石作用机理的研究[D];北京有色金属研究总院;2010年
4 徐民;Nd_xLu_(1-x)VO_4系列激光晶体的生长及其性能研究[D];山东大学;2011年
5 孙贵花;DLATF晶体的生长和性能研究[D];山东大学;2011年
6 颜涛;高品质铌酸锂、钽酸锂晶体的生长、结构与性质研究[D];山东大学;2011年
7 王跃明;钨及钨合金零部件等离子喷涂近净成形技术研究[D];中南大学;2011年
8 肖信;碘氧化铋分级微纳结构的合成、表征和可见光光催化活性研究[D];华南理工大学;2011年
9 林海;稀土掺杂钨酸钆钠激光晶体生长与性能研究[D];长春理工大学;2011年
10 张莹;双钨酸盐KRE_xYb_(1-x)(WO_4)_2激光晶体的研究[D];长春理工大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 方来鹏;Al-IB族掺杂ZnO薄膜的制备及第一性原理计算[D];昆明理工大学;2010年
2 陈锐;不同晶形的硫酸钙晶体生长控制研究[D];昆明理工大学;2009年
3 吴季;掺Er~(3+),Yb~(3+)钨酸钾钇激光晶体的生长与性能研究[D];福建师范大学;2010年
4 方帅;孔道结构有机硼氧化合物和硫脲配合物的合成、结构及表征[D];西安电子科技大学;2011年
5 王春晓;LnOHCO_3(Ln=La, Sm, Pr)、Zn_2(OH)PO_4晶体的水热合成与表征[D];山东师范大学;2011年
6 杨振华;苯甲酸基取代咪唑并邻菲咯啉类衍生物及其配合物的合成、结构与性质研究[D];西北大学;2011年
7 刘淑洁;水热法制备六方柱状ZnO微晶的形貌、结构与光催化性能[D];武汉理工大学;2011年
8 沈晓倩;Cu_2O结晶生长动力学计算与模拟[D];大连理工大学;2011年
9 张育民;硼酸钙型阻燃剂的合成及改性研究[D];大连理工大学;2011年
10 付乔克;稀土离子掺杂钼钨酸盐发光材料的光学特性研究[D];暨南大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王刚,孙建伦,王福,梁志德;IF 钢退火过程中织构变化的模拟研究[J];东北大学学报;1998年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 周谊军;倪献娟;夏兆所;潘丽梅;王全礼;;EBSD研究取向硅钢晶粒取向和晶界结构[J];电子显微学报;2009年01期
2 郭廷彪;丁雨田;袁训锋;胡勇;卢振华;;原始组织对等通道角挤压纯铜组织性能的影响[J];兰州理工大学学报;2010年01期
3 张林荣,张福林;化学气相沉积耐磨涂层TiN的温度选择[J];北京科技大学学报;1989年01期
4 魏明坤,王柱,毛京元;含过渡层氧化铝膜制备[J];表面技术;1997年01期
5 孙红婵;李树奎;侯岳翔;鲁旭东;郭伟;;CVD-W的晶界结构及其对塑性形变的影响[J];兵器材料科学与工程;2008年06期
6 张宏志,姚英学,孙凤莲,李丹;CVD金刚石厚膜的制备及厚膜刀具制造技术[J];工具技术;1999年11期
7 张宏志,姚英学,陈朔冬;乙炔-氧气火焰沉积高质量、致密金刚石厚膜[J];新技术新工艺;2000年04期
8 I. E. Clark!DE BEERS 工业金刚石,P. K. Sen!DE BEERS 工业金刚石;超硬刀具材料的研究进展[J];机械工程师;2000年08期
9 赵建敏;PCD与CVD金刚石显微组织及使用特性分析[J];制造技术与机床;2002年11期
10 高见,李建平,马文存,沈保罗,高升吉,易勇;WC基硬质合金CVD涂层的组织与性能[J];中国有色金属学报;2002年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 孙红婵;李树奎;候岳翔;鲁旭东;郭伟;;CVD-W晶粒取向和晶界结构的EBSD研究[A];第二届全国背散射电子衍射(EBSD)技术及其应用学术会议暨第六届全国材料科学与图像科技学术会议论文集[C];2007年
2 蒋佳;刘伟;Andrew Godfrey;刘庆;;晶粒取向对AZ31镁合金孪生行为的影响[A];2005年全国计算材料、模拟与图像分析学术会议论文集[C];2005年
3 杜继红;李争显;刘高建;周慧;黄春良;;钼基表面化学气相沉积钨涂层性能的研究[A];第五届全国表面工程学术会议论文集[C];2004年
4 张国英;张辉;杨丽娜;罗志成;;锌铝合金大角度晶界特性电子理论研究[A];2008年全国腐蚀电化学及测试方法学术交流会论文摘要集[C];2008年
5 袁继维;刘义敏;;高纯钛结晶行为研究[A];2008年全国冶金物理化学学术会议专辑(上册)[C];2008年
6 张彦文;王继辉;冀运东;;α铁晶粒取向与腐蚀速度的关系研究[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
7 李凡;黄海波;李金刚;;用EBSP研究铜的变形和再结晶过程[A];2005年全国计算材料、模拟与图像分析学术会议论文集[C];2005年
8 李平和;邓照军;陈士华;;超细晶碳素钢热连轧板的EBSD研究[A];第二届全国背散射电子衍射(EBSD)技术及其应用学术会议暨第六届全国材料科学与图像科技学术会议论文集[C];2007年
9 潘晓华;朱祖昌;;CVD和CVD镀层工具钢的热处理[A];第九次全国热处理大会论文集(一)[C];2007年
10 王雷;李凡;蒋建清;;纯铜冷轧过程中晶粒取向、织构及晶界角度分布特征的研究[A];第二届全国背散射电子衍射(EBSD)技术及其应用学术会议暨第六届全国材料科学与图像科技学术会议论文集[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 ;高温退火前显微组织对普通晶粒取向电工钢二次再结晶影响[N];世界金属导报;2001年
2 刘友存 摘译;不断推出满足市场需求的新产品[N];中国冶金报;2006年
3 高宏适;钢蠕变过程中氢的析出特性[N];世界金属导报;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 魏秋平;钢基CVD金刚石薄膜的制备、微结构及其机械性能的研究[D];中南大学;2011年
2 卢文壮;CVD金刚石涂层刀具的制备及其切削性能研究[D];南京航空航天大学;2008年
3 何欢;低温等离子体辅助Inconel 690渗氮研究[D];大连理工大学;2004年
4 张中武;定向再结晶及其动力学研究[D];南京理工大学;2008年
5 高岩;Mg-Y-Gd-Zn-Zr镁合金组织、性能及其蠕变行为研究[D];上海交通大学;2009年
6 魏承炀;再结晶织构的相场模拟与机理研究[D];华南理工大学;2012年
7 刘运腾;织构材料再结晶退火的蒙特卡罗模型及其模拟研究[D];山东大学;2008年
8 郑开云;Mg-Gd-Nd-Zr系高强耐热镁合金组织与性能研究[D];上海交通大学;2008年
9 黄文;纯钛高温动态拉伸力学性能研究[D];中国科学技术大学;2006年
10 程永奇;AZ31镁合金板材等径角轧制及冲压性能研究[D];湖南大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 白石磊;Ni_3Al合金的制备及晶界结构的研究[D];西安理工大学;2000年
2 王坤;CVD金刚石膜化学机械抛光工艺研究[D];大连理工大学;2010年
3 黄自强;制备CVD金刚石涂层硬质合金刀具中间层的研究[D];大连理工大学;2012年
4 周九根;金刚石薄膜硬质合金刀具基体表面化学浸蚀预处理研究[D];成都理工大学;2005年
5 张文玉;异步轧制对AZ31镁合金板材组织和性能的影响[D];湖南大学;2006年
6 邹敏强;定向凝固AZ31镁合金的组织与性能研究[D];湖南大学;2006年
7 杨忠旺;AZ31镁合金板材等径角轧制和退火工艺研究[D];湖南大学;2007年
8 罗衡;AZ31镁合金板材等径角轧制工艺及塑性变形机理研究[D];湖南大学;2008年
9 曹勇;多向轧制对AZ31镁合金板材组织与性能的影响[D];重庆大学;2009年
10 杜林;挤压工艺和退火制度对ZK01合金力学和阻尼性能的影响[D];上海交通大学;2008年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026