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《2005年全国计算材料、模拟与图像分析学术会议论文集》2005年
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CVD自支撑金刚石薄膜微区织构的EBSD检测分析

朱宏喜  毛卫民  冯惠平  
【摘要】:利用电子背散射衍射技术检测分析了CVD自支撑金刚石薄膜侧面微区织构和孪晶,计算了{100}、{110}、{111}、{122}、{447}、{148}晶面平行薄膜表面的织构在薄膜生长过程中各阶段所占的比例。研究结果表明,不稳定的沉积温度不利于{100}、{110}、{111} 织构的形成,孪晶造成了{122}、{447}、{148}织构。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 毛卫民,陈楠;CVD金刚石薄膜的织构分析[J];北京科技大学学报;2000年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 杨胶溪,吕反修,毛卫民,左铁钏;高质量金刚石自支撑膜织构与断裂强度的关系研究[J];金属热处理;2005年06期
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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3 张东灿;金刚石薄膜和类金刚石薄膜摩擦学性能试验及其应用研究[D];上海交通大学;2010年
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6 石利忠;图形化纳米金刚石薄膜的制备及表面氢吸附的研究[D];河北大学;2009年
7 杜丽丽;钛基掺硼金刚石薄膜电极的制备与电化学研究[D];吉林大学;2011年
8 孔祥飞;金刚石在海洋营养盐红外吸收检测中的应用研究[D];中国海洋大学;2012年
9 王玲;W18Cr4V高速钢基体金刚石薄膜的研究[D];中南大学;2011年
10 田孟昆;HFCVD金刚石薄膜/铜复合材料的生长工艺及结合性能研究[D];中南大学;2011年
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