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《第四届航天电子战略研究论坛论文集(新型惯性器件专刊)》2018年
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MEMS惯性仪表发展趋势

庄海涵  李新坤  刘国文  王学峰  徐宇新  
【摘要】:MEMS惯性仪表具有体积小、可批量生产、成本低等优点。随着相关技术发展,MEMS惯性仪表在多个领域得到了广泛应用。本文介绍了MEMS陀螺仪、MEMS加速度计以及MEMS惯性仪表工艺技术的发展现状,并对MEMS惯性仪表的发展前景做了展望。
【作者单位】:北京航天控制仪器研究所
【分类号】:TH-39

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