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《第四届航天电子战略研究论坛论文集(新型惯性器件专刊)》2018年
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微系统技术综述

王国栋  邢朝洋  李男男  孙鹏  梅崴  
【摘要】:正1引言"集成微系统"通常是包含MEMS(MicroElectro-Mechanical System)元件的小型化系统,它一般都是针对特定的功能任务而设计的,简称"微系统"。MEMS是微电子机械系统或微机电系统的英文简称。微系统是以微纳尺度理论为支撑,以微纳制造及工艺等为基础,不断融人微电子、微光电、微机电、微电磁、微处理、微能源、微流动、架构、算法等各种技术,具有微感知、微处理、微控制、微执行、微传输等功能,并通过功能模块的集成,
【作者单位】:北京航天控制仪器研究所
【分类号】:TN40

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