薄膜电阻器件的低频噪声测试方法研究

【摘要】：薄膜电阻器件的低频有色噪声是器件内部微观结构影响的缩影,承载了大量的与器件结构和工艺水平相关的信息,往往能够反映器件的内在质量和可靠性的优劣。本文给出了薄膜电阻器件低频噪声测试的一般方法并探讨了样品在低阻和裸片情况下进行低频噪声信号测试应采用的技巧和注意事项,还讨论了探针接触噪声对测试结果的影响,对正确的噪声信号采集和器件可靠性评估有重要意义。

【作者单位】：西安电子科技大学微电子学院西安电子科技大学微电子学院西安电子科技大学技术物理学院中国航天时代电子公司第771研究所
【分类号】：TM54

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1	邓云龙,范广涵,廖常俊,刘颂豪,文尚胜,刘鹏,王浩,曹明德,刘鲁;涡轮LP-MOCVD研制高亮度红光发光二极管[J];半导体光电;2001年06期
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7	刘之景,曹继,王克逸;超薄氧化门的等离子体充电损伤机理[J];半导体技术;2002年05期
8	邹建和;溅射工艺对晶片碎片的影响[J];半导体技术;2004年04期
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1	李珍;艾常涛;陈文;李飞;杨密纯;;Li、Mg双组分掺杂ZnO薄膜的结构与性能[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集（10）[C];2007年
2	封常青;刘树彬;王进红;安琪;;BESⅢ飞行时间电子学电荷测量电路的温度补偿[A];第十四届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集（1）[C];2008年
3	徐勤飞;唐恒敬;龚海梅;;碲镉汞长波光导红外探测器的侧面钝化研究[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
4	李瑞;郭伟玲;张勇辉;沈光地;;新型功率LED的高低温特性研究[A];第九届全国光电技术学术交流会论文集（下册）[C];2010年

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10	赵文彬;冲击电压下半导体材料表面闪络现象与机理的研究[D];西安交通大学;2007年

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1	李林茂;SiC MOS界面特性的电导法研究[D];大连理工大学;2010年
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6	杜磊;庄奕琪;孙承永;;厚膜电阻器的噪声研究[A];中国电子学会第十三届电子元件学术年会论文集[C];2004年
7	姜伟;唐俊峰;;溅射法制作CrSi薄膜电阻工艺技术[A];第十四届全国混合集成电路学术会议论文集[C];2005年
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9	张钧儒;喻梦霞;;宽带吉赫兹横电磁波小室过渡接头设计[A];2011年全国微波毫米波会议论文集（下册）[C];2011年
10	李洋;;回波损耗测试在电力载波通信中应用[A];2009年云南电力技术论坛论文集（优秀论文部分）[C];2009年

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1	通讯员　石明山记者　张兆军;我首台多功能薄膜电阻精修机面世[N];科技日报;2006年
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7	贺蓓　张红先;交流融冰新装置在湘试运成功[N];国家电网报;2008年
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1	贺达江;阻抗匹配三相变四相平衡变压器研究[D];湖南大学;2009年

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1	仵建平;电阻及DC/DC转换器低频噪声检测技术[D];西安电子科技大学;2006年
2	张立建;基于阻抗匹配的电力线载波通信结合滤波器的研制[D];哈尔滨工业大学;2007年
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5	吴勇;薄膜电阻器件低频噪声测量与可靠性研究[D];西安电子科技大学;2005年
6	程敏胜;多功能阻抗匹配平衡牵引变压器滤波参数的研究[D];湖南大学;2001年
7	刘伟莲;基于电阻分压器的纳秒高压脉冲测量系统研究[D];南京农业大学;2008年
8	郭雯;大功率油井超声波电源的设计[D];天津大学;2012年
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10	张剑贤;高压直流输电中阀控信号系统的研制开发[D];西安电子科技大学;2008年

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