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《第十四届全国混合集成电路学术会议论文集》2005年
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薄膜电阻器件的低频噪声测试方法研究

吴勇  庄奕琪  杜磊  魏文彦  
【摘要】:薄膜电阻器件的低频有色噪声是器件内部微观结构影响的缩影,承载了大量的与器件结构和工艺水平相关的信息,往往能够反映器件的内在质量和可靠性的优劣。本文给出了薄膜电阻器件低频噪声测试的一般方法并探讨了样品在低阻和裸片情况下进行低频噪声信号测试应采用的技巧和注意事项,还讨论了探针接触噪声对测试结果的影响,对正确的噪声信号采集和器件可靠性评估有重要意义。

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