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电子束化学增幅抗蚀剂国内外现状及发展趋势

刘干  
【摘要】:正一、IC 与 ULSI 产业国内外现状及发展趋势 ULSI 是现代信息产业和信息社会的基础,是制造和提升传统产业的核心技术。随着全球信息化、网络化和知识经济浪潮的到来,ULSI 产业的地位越来越重要,它已成为事关国民经济、国防建设、人民生活和信息安全的基础性、战略性产业。

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