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《集成电路配套材料研讨会及参展资料汇编》2004年
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直径12英寸硅单晶抛光片的研制

周旗钢  
【摘要】:正 信息产业已成为现代经济的先导产业,以集成电路为核心的电子元器件是信息产业的基础,硅片是集成电路最主要的基础功能材料,在信息产业发展中占有重要的地位和作用。目前世界半导体工业正开始由8英寸硅片的0.25微米技术向12英寸硅片的0.13—0.10微米技术转移,对12英寸硅片的市场需求将逐步扩大。通过对0.13—0.10微米集成电路用12英寸硅片的开发,不但可以满足市场需求,占领国内外市场,而且可以在技术上实现跨越式发展,使我国的硅材料工业处于世界先进水平。
【作者单位】:北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司
【分类号】:TN304

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