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北京师范大学低能核物理研究所

【摘要】：正 北京师范大学低能核物理研究所是国内最早开展SOI材料研究的单位之一。目前SOI材料实验室包括150m~2超净实验室、LC-13强流注氧机、1350℃高温退火炉、硅片清洗机和测试分析系统等全套硬件设施,是北京市SOI材料的研发基地。

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