基于神经网络的扫描探针显微镜标定技术研究

孙鑫费敏锐

【摘要】：扫描探针显微镜在标定过程中很难准确建模,本文提出了一种基于神经网络的标定方法。根据输入值与目标值的关系建立模型,避免了从扫描探针显微镜扫描原理出发的物理建模的不确定性对系统性能的影响,提高了标定精度。

【作者单位】：上海大学机电与自动化学院上海大学机电与自动化学院
【分类号】：TH742;TP183

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