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光学薄膜的激光损伤阈值测量

胡建平  陈松林  赵春茁  马平  许乔  
【摘要】:光学元件的激光损伤是影响高功率激光器件性能的重要因素之一,激光损伤阀值的准确测量是高功率激光元器件品质的保障,是研究高抗激光损伤光学元件的必要条件。光学中心研制的三波段激先损伤阈值自动测量装置主要由Nd:YAG激光器、激光参数测量装置和控制系统组成,能输出355nm、532nm、1064nm脉宽10ns的激光脉冲.并对相应波长能测试1—on—1,S—on—1,N—on—1等方式的激光损伤阀值。从激光损伤阈值定义和损伤阈值测量的实际出发,分析了激光诱导损伤阈值的不确定度来源,包括激光能量测量、光斑有效面积测量、各能量密度处概率的计算以及对损伤概率点进行直线拟合这四个方面。利用统计学原理和线性拟合等理论对不确定度分量及测试结果的相对合成不确定度进行了理论推导和计算。1064nm高反薄膜样品的实例分析表明,损伤阈值测量的相对合成不确定度为18.79%。

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