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微米纳米技术在惯性技术领域的应用研究

董景新  张嵘  
【摘要】:正在微米/纳米技术这一引人注目的前沿技术背景下,惯性技术领域正经历一场深刻的变化。以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础制造的各种微传感器和微机电系统(MEMS)脱颖而出,平均年增长率达到30%。MEMS是尺

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