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《面向21世纪的科技进步与社会经济发展(下册)》1999年
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一种微位移工作台的结构设计及误差分析

田兴志  何惠阳  
【摘要】:正精密位移工作台在精密仪器及科学实验装置中有着广泛的应用。根据工作台行程的大小、分辨率的高低、定位精度的高低,精密位移工作台有压电式、机械式、压电机械组合式等多种结构形式。本文介绍一种步进谐波机构驱动、
【作者单位】:中国科学院长春光机所
【分类号】:TH703

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