收藏本站
《2010中国·重庆第七届表面工程技术学术论坛暨展览会论文集》2010年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

直流磁控溅射研究进展

石永敬  龙思远  王杰  潘复生  
【摘要】:直流磁控溅射是重要的物理气相沉积技术,广泛的应用在工业生产和科学研究中。本文主要评论了近年来直流磁控溅射技术在溅射机理和非平衡闭合磁控靶等方面取得的重要进展,并评述了脉冲磁控模式和基于闭合磁场直流磁控溅射沉积涂层的结构区域模型。直流非平衡磁控溅射是直流磁控溅射技术中的一个重要的里程碑,使得磁控溅射技术直接过渡到离子镀阶段,而脉冲磁控溅射技术为稳定沉积高质量的非导电涂层做出了一个重要的贡献。
【作者单位】:重庆科技学院 硅酸盐研究所 重庆大学
【分类号】:TB43

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 魏雄邦;吴志明;王涛;蒋亚东;;氧化钒薄膜在玻璃基片上的生长研究[J];无机材料学报;2008年02期
2 杨兵初;高飞;刘晓艳;;氮气中退火对ZnO薄膜结构与光学性能的影响[J];半导体光电;2007年03期
3 李爱丽;王本军;闫金良;孙学卿;秦清松;;薄膜厚度对Cu膜光电性能的影响[J];鲁东大学学报(自然科学版);2008年02期
4 李兴鳌;杨建平;左安友;高雁军;袁作彬;任山令;李永涛;;基底温度对直流磁控溅射制备氮化铜薄膜的影响研究[J];材料导报;2010年04期
5 杨铭;李喜峰;李桂锋;张群;;直流磁控溅射工艺参数对掺钨氧化铟透明导电薄膜性能影响的研究[J];真空;2010年05期
6 林锋;于月光;李世晨;曾克里;任先京;贾贤赏;;含氧气氛直流磁控溅射薄膜铂电阻制备及性能研究[J];金属功能材料;2006年02期
7 潘永强;;直流磁控溅射Cr/Cr_2O_3金属陶瓷选择吸收薄膜的研究[J];真空科学与技术学报;2006年06期
8 刘文;王质武;杨清斗;卫静婷;;硅基氮化铝薄膜的AFM和XPS分析[J];压电与声光;2007年06期
9 魏雄邦;吴志明;王涛;许向东;蒋亚东;;VO_2(B)薄膜的制备及特性优化研究[J];光电子.激光;2008年10期
10 陈林峰;程春晓;;直流磁控溅射制备纳米TiO_2薄膜研究[J];洛阳理工学院学报(自然科学版);2009年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 石永敬;龙思远;王杰;潘复生;;直流磁控溅射研究进展[A];2010中国·重庆第七届表面工程技术学术论坛暨展览会论文集[C];2010年
2 施立群;金钦华;周筑颖;;直流磁控溅射沉积含He钛膜[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
3 王勇;张波;尉伟;王建平;范乐;李为民;;直流磁控溅射法镀TiZrV薄膜的实验研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
4 张文峰;刘实;戎利建;;直流磁控溅射钛及钛合金薄膜的性能研究[A];第九届中国核靶技术学术交流会摘要集[C];2007年
5 杨旭;蔡长龙;周顺;刘欢;;直流磁控溅射制备氧化钒薄膜[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
6 穆武第;程海峰;唐耿平;陈朝辉;;直流磁控溅射制备PbTe薄膜[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(4)[C];2007年
7 杨旭;蔡长龙;周顺;刘欢;;直流磁控溅射制备氧化钒薄膜[A];2009年西部光子学学术会议论文摘要集[C];2009年
8 蔡臻炜;沃松;杨锡;章壮健;;直流磁控溅射方法制备掺Sb二氧化钛薄膜的特性研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
9 芶立;亓常松;冉均国;郑昌琼;;直流磁控溅射SiC薄膜的制备与性能[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
10 王轩;刁训刚;巨文博;;直流磁控溅射制备n型Bi_2Te_(2.7)Se_(0.3)热电薄膜热电性能研究[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 陶氏;新一代收缩膜——双泡法 聚乙烯收缩膜的现状与发展趋势[N];中国包装报;2010年
2 刘国信;碳氢化合物涂层技术在包装上的应用[N];中国包装报;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 吴志国;Al/AlN纳米多层膜及氮化铜光记录薄膜材料的制备与性能研究[D];兰州大学;2006年
2 李兴鳌;磁控溅射制备氮化铜薄膜研究[D];华中科技大学;2007年
3 魏雄邦;氧化钒薄膜的制备、微结构与特性研究[D];电子科技大学;2008年
4 张波;真空室内壁镀TiZrV吸气剂薄膜的工艺及薄膜相关性能的研究[D];中国科学技术大学;2011年
5 鲁永芳;金属钛膜中氢对氦行为作用和影响的研究[D];复旦大学;2011年
6 窦卫东;金属表面有机薄膜的生长机理研究[D];浙江大学;2009年
7 隋瑛锐;共掺杂p型ZnO和富氮Zr-N薄膜的制备、性能及表征[D];吉林大学;2010年
8 吴志立;闭合场非平衡脉冲磁控溅射沉积碳氮化铬薄膜结构与性能研究[D];大连理工大学;2010年
9 王丽伟;过渡族金属掺杂ZnO薄膜的制备与铁磁性能的研究[D];北京交通大学;2010年
10 李兵;La_(0.7)Ba_(0.3)MnO_3薄膜的应变和气氛退火效应研究[D];中国科学技术大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 汪丹;SiO_2基体上直流磁控溅射LaB_6/ITO复合薄膜的性能研究[D];山东大学;2011年
2 颜建堂;掺硅类金刚石薄膜的制备、结构及光学性质[D];中南大学;2008年
3 陈海平;掺氮类金刚石薄膜的制备及其结构与光电性质研究[D];中南大学;2009年
4 张有润;制备ITO薄膜的工艺研究[D];电子科技大学;2005年
5 赵光伟;纳米晶体钛表面生物改性薄膜TiO_2制备研究[D];江苏大学;2009年
6 赵海廷;直流磁控溅射制备HfO_2薄膜及其光学性能研究[D];兰州大学;2010年
7 吴涛;柔性不锈钢基底上一维纳米TiO_2薄膜的制备和表征[D];南京航空航天大学;2011年
8 邵林飞;掺杂VO_x薄膜制备及其性能研究[D];合肥工业大学;2010年
9 卞铁荣;直流磁控溅射TiNiCu薄膜的制备与组织性能研究[D];西安理工大学;2006年
10 汪立文;透明导电CuAlO_2薄膜制备和光电性质的研究[D];重庆大学;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026