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《第二届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集》2002年
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微米/纳米技术

尤政  
【摘要】:正引言微米/纳米技术是指微米级到纳米级的材料、设计、制造、测量、控制和应用技术。其研究途径有由底至上的方法(bottom-up),和由上至底的方法(up-bottom)的两种。本文重点阐述微米/纳米技术的基本概念、内容和发展,这是一个很宽广的新技术。文中还着重介绍了微型机电系统,探针显微技术和微米/纳米技术的军事应用。这项新兴技术实在重要,关系到国家科技发展、经济和国防建设的未来,已受到各国决策部门的重视,被列入各国高新技术发展规划。科学技术向微小领域发展,由毫米级、微米级继而涉足纳米级,人们把这个领域的技术称之为微米/纳米技术。
【作者单位】:清华大学微米纳米技术研究中心
【分类号】:TB383.1

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【引证文献】
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【共引文献】
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