射频磁控溅射制备Mg_xZn_(1-x)O薄膜

【摘要】：采用射频磁控溅射用x=0.00～0.45的Mg_xZn_(1-x)O陶瓷靶在Si(100)和石英衬底上生长Mg_xZn_(1-x)O薄膜。采用X射线衍射谱(XRD)、透射谱和光电导谱对样品进行表征。结果表明用Mg_xZn_(1-x)O薄膜在x≤0.325时具有单一(002)取向的六方结构,其禁带宽度E_g随x增加而增加,薄膜表面在入射光能量大于禁带宽度时有光电响应,并且在x=0.325时得到了禁带宽度在4.9 eV的Mg_xZn_(1-x)O薄膜。在x0.325时出现立方相结构,禁带宽度有所减少,说明此时已为混相薄膜。

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前20条

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2	阮隽;张伟刚;耿鹏程;张珊珊;李晓兰;;两个长周期光纤光栅级联透明现象研究[J];中国激光;2011年07期
3	苏安;覃宗定;高英俊;;镜像对称结构一维光量子阱的光传输特性[J];激光与红外;2011年08期
4	苏安;;含双负介质一维光子晶体的量子阱结构研究[J];天津师范大学学报(自然科学版);2011年03期
5	丁文革;苑静;李文博;李彬;于威;傅广生;;基于反射和透射光谱的氢化非晶硅薄膜厚度及光学常量计算[J];光子学报;2011年07期
6	邬小鹏;傅竹西;;MgZnO薄膜的制备及其光电特性[J];功能材料;2011年09期
7	苏洋;朱勇;益晓新;李玉权;;圆双折射光栅的传输和偏振特性研究及磁场传感应用[J];光学学报;2011年06期
8	孙琳;袁建民;;亚波长割线对结构的太赫兹共振特性[J];国防科技大学学报;2011年03期
9	宋戈;许静平;羊亚平;;三层单负材料结构中电磁波模分析[J];物理学报;2011年07期
10	叶楠;姜震宇;刘扬;赵玲娟;王圩;;可调谐DBR激光器波长锁定光路系统模拟设计[J];半导体光电;2011年04期
11	李文胜;黄海铭;付艳华;张琴;是度芳;;由单负材料组成的对称型一维光子晶体的偏振特性[J];量子光学学报;2011年02期
12	王丽华;何灏;张星;李广;戚泽明;丁伯江;;电荷有序态La_(0.25)Ca_(0.75)MnO_3的红外光学特性分析[J];中国科学:物理学力学天文学;2011年10期
13	罗小光;何济洲;;摇摆型棘齿热电子隧穿制冷[J];物理学报;2011年09期
14	徐慧;崔麦玲;马松山;;原子质量比对一维Fibonacci链热传导性质的影响[J];中南大学学报(自然科学版);2011年08期
15	张辉霞;杨烨;王光;陈宪锋;;单负材料一维光子晶体的带隙和局域模特性[J];常州大学学报(自然科学版);2011年02期
16	郝会颖;李伟民;曾湘波;孔光临;廖显伯;;沉积气压对相变域硅薄膜性能的影响[J];功能材料;2011年08期
17	冯刚;高丽娜;郝东山;;Compton散射对非均匀等离子体光子晶体光子带隙的影响[J];光子学报;2011年07期
18	赵佩;陈有为;郑继明;郭平;;水分子吸附对(4,4)单壁碳纳米管电子输运性质的影响[J];西北大学学报(自然科学版);2011年03期
19	康娟;李孟超;董新永;张在宣;金尚忠;;基于级联长周期光纤光栅的M-Z滤波器的优化设计[J];光电子.激光;2011年08期
20	苗飞;陈霄;张玲;王静;姜明顺;冯德军;隋青美;贾磊;;基于LPFG和HBF环镜的温度和应变同时测量[J];光电子.激光;2011年07期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	邬小鹏;孙利杰;钟泽;徐小秋;林碧霞;傅竹西;;射频磁控溅射制备Mg_xZn_(1-x)O薄膜[A];第十五届全国化合物半导体材料，微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
2	李大为;KIM J B;苏雪梅;李丰林;;驻波场驱动多普勒加宽Cs原子中EIT及光子带隙现象的研究[A];第十三届全国量子光学学术报告会论文摘要集[C];2008年
3	邢晓;王文军;张栋;刘云龙;高学喜;张丙元;;生长温度与氧压对LMBE制备纳米TiO_2薄膜的影响[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
4	王兆娜;刘大禾;周静;;一维体全息透射谱“分叉”现象的随机膨胀解释[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
5	刘富伟;薛庆勉;化振勇;李恒;朴渊;杨继勇;李维慎;孙祎;涂清云;聂家财;;CeO2纳米薄膜的光学性质及其量子受限效应研究[A];第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集[C];2007年
6	杜桂强;刘念华;;含有多缺陷的一维光子晶体的完全透射及应用[A];第十一届全国量子光学学术报告会论文集[C];2004年
7	黄桂娟;孔春阳;秦国平;阮海波;;Mg掺杂对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜结构和光电性质的影响[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集（第6分册）[C];2010年
8	王晓飞;吴雪梅;诸葛兰剑;;Zn_(1-x)Cu_xO薄膜的结构和光学性质[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
9	宋若龙;姚桂锦;王克协;韩炜;;柱状周期分层结构中P波的声带隙[A];2008年全国声学学术会议论文集[C];2008年
10	盛国浩;贾芳;朱德亮;曹培江;吕有明;马晓翠;;宽禁带Mg_xZn_(1-x)O薄膜的制备和性能研究[A];第十五届全国化合物半导体材料，微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

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2	曾交龙;使用细致谱项模型研究铝等离子体的辐射不透明度[D];国防科学技术大学;2001年
3	郑继明;单分子电子输运性质的第一性原理研究[D];西北大学;2008年
4	陈金林;应用于THz源的光纤激光器及高性能光电探测器[D];华中科技大学;2009年
5	梁颖;有阻挫铜氧化物材料正常态反常物理性质的研究[D];北京师范大学;2003年
6	陈静;新型半导体材料物理特性的凝聚态光谱研究[D];上海交通大学;2007年
7	谢应茂;无序介质激光机理的相关研究[D];南昌大学;2007年
8	陈跃刚;色散特性材料结构的光传输研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
9	张健;菲波纳契准周期超结构光纤光栅制备与特性研究[D];吉林大学;2009年
10	聂六英;低维量子结构中的声学声子输运与热导性质研究[D];湖南大学;2007年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	崔麦玲;一维准周期体系的热传导性质[D];中南大学;2010年
2	孔德乾;磁光光纤布喇格光栅线性透射谱与非线性双稳特性研究[D];兰州大学;2012年
3	王成;新型LPFG的数值计算及相关应用[D];哈尔滨工程大学;2006年
4	俱海浪;β-Zn_3BPO_7晶体的光谱特性[D];北京工业大学;2008年
5	孙道林;一维光子晶体光量子阱的理论研究[D];北京化工大学;2009年
6	范永玲;光导开关的理论分析及实验研究[D];电子科技大学;2007年
7	费德厚;光整流产生太赫兹辐射及核黄素太赫兹时域光谱的研究[D];吉林大学;2009年
8	孟田华;两种亚波长分形结构的太赫兹透射光谱特性研究[D];首都师范大学;2009年
9	刘琼;周期性结构的表面等离子体共振性能研究[D];中南大学;2009年
10	郝清海;一维光子晶体的能带特性研究[D];曲阜师范大学;2006年

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