软刻蚀复制技术制作聚合物微透镜阵列--《2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集》2004年

《2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集》 2004年

软刻蚀复制技术制作聚合物微透镜阵列

【摘要】：介绍了利用软刻蚀紫外模塑技术制作复制聚合物折射和衍射微透镜阵列的工艺过程。实验过程和测试结果表明,聚二甲基硅氧烷(PDMS)模具可以完好地将母版上的微透镜阵列复制到硅或玻璃材料上的光敏胶上,并可多次使用,且母版无损伤。此技术具有速度快,工艺简单的特点,可用于微透镜与图像传感器的单片集成。

【作者单位】：华中科技大学光电子工程系华中科技大学光电子工程系华中科技大学光电子工程系华中科技大学光电子工程系重庆光电技术研究所
【关键词】：微透镜 聚合物 紫外模塑 软刻蚀
【分类号】：TN25
【正文快照】：

1 引言作为微光学的典型元件,微透镜得到了越来越广泛的研究,其应用领域包括图像传感器填充系数的提高[】]、半导体激光准直[2]、光纤耦合、光学微扫描等。制作微透镜的方法很多,如制作折射微透镜的光刻热熔成形『3]、束能直写n]、灰度等级掩模[5’等方法,制作衍射微透镜的

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	【参考文献】
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前1条

1	张新宇,汤庆乐,张智,易新建;半导体激光器出射光束的折射微透镜准直[J];华中理工大学学报;2000年07期

	【共引文献】
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中国硕士学位论文全文数据库

前1条

1	陈建清;半导体激光器光束准直微透镜的研究[D];长春理工大学;2006年

	【二级参考文献】
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前2条

1	余大英,胡玉禧,张亮;半导体激光束整形器的设计与分析[J];量子电子学报;1997年02期
2	姬扬,张静娟,姚德成,陈岩松;用于半导体激光器光束整形的衍射光学元件的设计研究[J];物理学报;1996年12期

	【相似文献】
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前10条

1	袁益谦;光纤网格器件及其制造[J];光学学报;1982年06期
2	姚荣新;长、短波长步进式光衰减器[J];光通信技术;1985年04期
3	陈锡坤;谢敏;;大电流光纤传感器测量系统[J];科技通报;1987年01期
4	廖廷俤;锥形发散梯度折射率纤维透镜的成像特性[J];中国激光;1989年05期
5	周义海;;长波长光通信系统用光接收元件的发展动向[J];光纤与电缆及其应用技术;1990年02期
6	杨瀛海;自聚焦光纤及列阵成象特性和应用[J];量子电子学报;1991年01期
7	孙礼中;;Ti:LiNbO_3光波导与半导体激光器的耦合[J];北京邮电大学学报;1991年02期
8	田果成,蔡林,刘蒙青,简水生;具有辅助瞄准光束的小型探头光纤辐射测温仪[J];传感技术学报;1992年01期
9	N.T.Gordon;微透镜在红外探测器阵列中的应用[J];电子器件;1992年04期
10	楼培德;发电机端部振动光纤传感测试方法的研究[J];电子科技大学学报;1992年S1期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	刘娟;董碧珍;顾本源;杨国桢;;两个圆柱形衍射微透镜的干涉效应[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
2	何苗;易新建;程祖海;黄光;刘鲁勤;;大F数硅微透镜阵列的制作及光学性能测试研究[A];湖北省激光学会论文集[C];2000年
3	郄胜强;晏磊;;基于微透镜液晶的彩色视景仿真系统及其应用[A];中国图象图形学会第十届全国图像图形学术会议（CIG’2001）和第一届全国虚拟现实技术研讨会（CVR’2001）论文集[C];2001年
4	秦兴武;陈良明;李明中;罗亦鸣;隋展;粱樾;丁磊;赵润昌;;Nd:YLF激光放大器的LD端面泵浦[A];中国工程物理研究院科技年报[C];2001年
5	秦兴武;陈良明;李明中;罗亦鸣;隋展;粱樾;丁磊;赵润昌;;Nd:YLF激光放大器的LD端面泵浦[A];中国工程物理研究院科技年报（2001）[C];2001年
6	罗亦鸣;李明中;;48kW二极管阵列端面泵浦激光放大器[A];中国工程物理研究院科技年报（2002）[C];2002年
7	胡晓峰;张鸿海;贺德建;范细秋;;热压印制作微透镜阵列[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集（二）[C];2004年
8	戴阳;蒋志凌;李发泉;程学武;龚顺生;;瑞利激光导星收发光学系统的研究[A];中国空间科学学会空间探测专业委员会第十七次学术会议论文集[C];2004年
9	姜宗福;李文煜;;气动光学研究进展[A];首届全国航空航天领域中的力学问题学术研讨会论文集（上册）[C];2004年
10	李育林;;微光学及其在生物医学中的应用[A];第六届全国光生物学学术研讨会论文集[C];2004年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	王延伟;什么是DLP[N];中国电脑教育报;2002年
2	明捷;“引力透镜”造就“太空海市蜃楼”[N];大众科技报;2003年
3	木哥;扫描仪擂台展开内功比拼[N];计算机世界;2003年
4	;深耕细作创精品[N];中国电脑教育报;2004年
5	;轻松处理照片[N];中国计算机报;2004年
6	大工;审时度势，精耕细作[N];中国电脑教育报;2005年
7	高鸣矫/DigiTimes;Cypress开发低成本900万像素CMOS图像传感器[N];电子资讯时报;2005年
8	CPW记者郭文文;投影机市场：棋至“中盘” 变数仍多[N];电脑商报;2006年
9	本报记者王钰;科技开辟收藏新篇章[N];吉林日报;2006年
10	郭季记者卞晨光张孟军陈超;科学家发现与地球最类似的行星[N];科技日报;2006年

中国博士学位论文全文数据库

前2条

1	于海鹰;半导体激光器与光纤高效耦合特性的研究[D];北京工业大学;2006年
2	段开椋;光场的矢量性、非傍轴性和部分相干性研究[D];四川大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	王英霞;体正弦光栅法自由空间交叉光互连元件的研究[D];暨南大学;2001年
2	王汝杰;异型光纤微透镜技术[D];国防科学技术大学;2002年
3	崔崧;微透镜阵列光刻投影系统的研究[D];中国科学院研究生院（西安光学精密机械研究所）;2002年
4	刘驰;DMD用于数字光刻成像研究[D];四川大学;2005年
5	胡晓峰;纳米热压印设备与试验研究[D];华中科技大学;2005年
6	曾雪锋;基于介质上电润湿的液滴操作与模拟[D];清华大学;2005年
7	朱奇伟;大功率半导体激光器的光纤耦合研究[D];河北工业大学;2006年
8	陈建清;半导体激光器光束准直微透镜的研究[D];长春理工大学;2006年
9	王帆;一种实现半导体激光器和多模光纤耦合的实用化技术研究[D];河南大学;2006年
10	徐陈燕;高功率、大能量、窄脉冲激光与光纤耦合技术研究[D];长春理工大学;2006年