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《2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集》2004年
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室温红外探测用VO_x薄膜的工艺研究

刘爽  宁永功  赵凯生  刘永智  李华高  熊平  
【摘要】:用反应溅射法制备了VO_x薄膜。利用XPS分析技术,研究了薄膜组分与氧分压、基片材料、沉积厚度等工艺条件的关系。结果表明本工艺得到V2O5、VO2、V2O3复相膜,氧气流量大和较厚薄膜容易获得高价态V,衬底表面吸附氧会改变薄膜组分,V2O5、VO2含量高的薄膜电阻温度系数相对较高,V2O3不利于红外探测。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
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【共引文献】
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
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2 孙志君;非致冷红外焦平面阵列技术[J];传感器世界;2000年02期
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【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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3 缪国庆;金亿鑫;宋航;蒋红;黎大兵;李志明;孙晓娟;;InGaAs/InP红外探测材料与线列器件的研究[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
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中国重要报纸全文数据库 前1条
1 华北光电技术研究所 陈苗海 所洪涛;红外热成像市场高速增长 核心器件成瓶颈[N];中国电子报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前9条
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3 吕宇强;氧化钒薄膜材料及非制冷红外探测器微结构设计的研究[D];天津大学;2007年
4 刘霞;In_(0.82)Ga_(0.18)As红外探测材料的MOCVD生长与器件研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
5 权茂华;InAs/In_xGa_(1-x)Sb应变超晶格界面结构和光学性能[D];哈尔滨工业大学;2010年
6 熊宗龙;人体热痕迹探测的理论与实验研究[D];华中科技大学;2011年
7 李辛毅;红外焦平面阵列读出信号处理电路设计关键技术研究[D];天津大学;2010年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 孙景旭;车载红外探测设备的扫描结构设计与应用[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
2 韦晓莹;基于VO_X薄膜的电致阻变特性的研究[D];天津理工大学;2011年
3 翟于嘉;红外探测材料电阻温度特性的研究[D];西安工业大学;2011年
4 韩雷;利用对靶磁控溅射在不同衬底上制备氧化钒薄膜的研究[D];天津大学;2007年
5 陈涛;利用金属氧化法在不同衬底上制备氧化钒薄膜的研究[D];天津大学;2008年
6 孟婷;高效低污染施药植株对靶红外线探测实验研究[D];江苏大学;2009年
7 康杰;用于动态红外场景产生器的TaN薄膜研究[D];电子科技大学;2009年
8 李文杰;氧化铟锡薄膜的电子束蒸发制备及其电学性质的研究[D];厦门大学;2009年
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10 王建凯;基于多时相多光谱红外图像浅层地下目标探测技术研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
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