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《2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集》2004年
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非致冷红外探测用VO_x薄膜XPS价带谱研究

宁永功  刘爽  杨忠孝  詹思瑜  廖思舜  李华高  
【摘要】:介绍了用XPS技术研究反应溅射制备的VO_x薄膜;结果表明该方法制备的VO_x薄膜大多是不同价态的混合物,其物相、成分与氧分压密切相关。XPS价带谱研究发现VO2+δ物相的薄膜最利于非致冷红外探测。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 刘少波,刘梅冬,曾亦可,夏冬林,黄焱球,李军,郭明金;非致冷热电型红外焦平面阵列用探测材料的研究进展[J];材料导报;2000年10期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张五星,徐重阳,王长安,史济群,周雪梅;非致冷红外焦平面阵列探测单元的制备[J];功能材料与器件学报;2002年04期
2 张五星,徐重阳,王长安,史济群,周雪梅;微桥对UFPA探测单元的影响[J];功能材料与器件学报;2003年02期
3 刘金城,鲁建业,田雪松,掌蕴东,袁萍,王骐;二氧化钒薄膜研究的最近进展[J];哈尔滨工业大学学报;2002年04期
4 李庆林,皮德富,周士源;非致冷测辐射热计的数学模型[J];红外技术;2000年03期
5 王宏臣,易新建,陈四海,黄光,肖静;128元非致冷氧化钒红外探测器的制作[J];红外与毫米波学报;2004年02期
6 袁宁一;李格;李金华;陈效双;;微测辐射热计的红外热响应模拟[J];红外与毫米波学报;2006年03期
7 董良,岳瑞峰,刘理天;基于MOSFET漏电流温度特性的室温红外探测器[J];红外与激光工程;2002年06期
8 代建宾,雷静,赵建忠,胡长平;VO_x微测辐射热计的研制[J];激光与红外;2001年06期
9 闫长春,薛国刚,刘诚,高淑梅;多层超薄薄膜介质光热辐射的三维理论研究[J];物理学报;2005年07期
10 茹国平,曹永峰,李炳宗;微测辐射热计用氧化钒薄膜制备及特性[J];微细加工技术;2002年04期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 刘爽;宁永功;赵凯生;刘永智;李华高;熊平;;室温红外探测用VO_x薄膜的工艺研究[A];2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 刘爽;红外焦平面阵列用超薄PtSi/P-Si结构的优化[D];电子科技大学;2001年
2 杨文;非制冷焦平面用热释电材料研究[D];电子科技大学;2002年
3 顾文韵;微测辐射热计红外焦平面探测器模型、仿真与设计应用研究[D];南京理工大学;2002年
4 李晓平;WDM薄膜滤光片和分束器的设计与制造研究[D];华中科技大学;2005年
5 魏贤华;氧化物铁电薄膜生长与界面控制方法研究[D];电子科技大学;2005年
6 吴淼;非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜的制备研究[D];天津大学;2005年
7 周宗辉;原位复合钙钛矿/钨青铜复相材料的形成及介电与热释电性能研究[D];浙江大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邓莉;64×64非致冷红外焦平面器件读出信号处理电路设计[D];电子科技大学;2002年
2 张蜀平;氧化钒薄膜的制备及特性研究[D];电子科技大学;2002年
3 罗辑;非致冷微测辐射热计电路研究[D];电子科技大学;2002年
4 刘晔 ;非制冷红外焦平面热成像测温系统的研究[D];南京理工大学;2003年
5 沈晓燕;非致冷红外焦平面阵列CMOS读出电路设计及其仿真[D];南京理工大学;2003年
6 刘士军;双电极对TEACO_2激光器脉冲的偏振编码与解码[D];南京理工大学;2003年
7 袁宏韬;二氧化钒薄膜的制备与光学特性研究[D];长春理工大学;2004年
8 温宇峰;非致冷红外探测器用氧化钒薄膜工艺研究[D];天津大学;2004年
9 贺文彪;纳米TiO_2光学特性及其在电磁屏蔽吸收材料中的应用[D];南京理工大学;2004年
10 黎文模;氧化钒非致冷红外探测器阵列读出电路结构研究[D];西南交通大学;2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨亚生;测辐射热计红外焦平面列阵[J];半导体技术;1999年02期
2 孙志君;非致冷红外焦平面阵列技术[J];传感器世界;2000年02期
3 贾正根;红外摄像器件最近动向[J];光电子技术;1998年02期
4 王世敏,张刚升,李佐宜,张端明;KTa_(0.55)Nb_(0.45)O_3薄膜的介电和铁电及热释电性能研究[J];硅酸盐学报;1999年06期
5 刘瑞斌,林盛卫,瞿翠凤,姚春华,金绮华,林猷慎,张毓荣;红外焦平面列阵热成像用陶瓷热释电材料的研制[J];硅酸盐学报;1995年03期
6 邵式平;非制冷长波红外焦平面列阵现状[J];红外与激光工程;1997年04期
7 孔沐生,向健勇;二维编码孔红外热像仪的设计[J];红外与激光工程;1996年02期
8 邵式平;非制冷热释电红外焦平面[J];红外与激光工程;1996年06期
9 刘爽,宁永功,陈艾,刘俊刚,杨家德,李昆;PtSi薄膜超薄化及连续性研究[J];激光与红外;2000年04期
10 刘爽,宁永功,陈艾,李华高,杨家德;红外用超薄PtSi膜的一种制备新方法[J];真空科学与技术学报;2000年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 高国龙;美国Sarcon公司计划于2002年末生产非致冷焦平面列阵[J];红外;2002年05期
2 顾聚兴;;非致冷式红外摄像机[J];红外;2007年08期
3 高;非致冷薄膜红外探测器[J];红外;1998年08期
4 ;检测用非致冷红外热像仪[J];电工技术杂志;2002年06期
5 高国龙;非致冷红外光电探测器性能不久将获提高[J];红外;2003年08期
6 江涛;非致冷手动式红外摄象机[J];红外;1998年08期
7 江涛;非致冷式红外摄像机——“LTC 500”[J];红外;1999年09期
8 玲;非致冷红外敏感器的合同[J];红外;1996年05期
9 王海;非致冷红外固体成像技术的发展[J];红外;1999年04期
10 Paul W.Kruse ,顾聚兴;非致冷热成像技术:列阵、系统与应用[J];红外;2003年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 宁永功;刘爽;杨忠孝;詹思瑜;廖思舜;李华高;;非致冷红外探测用VO_x薄膜XPS价带谱研究[A];2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集[C];2004年
2 刘爽;宁永功;赵凯生;刘永智;李华高;熊平;;室温红外探测用VO_x薄膜的工艺研究[A];2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集[C];2004年
3 陈二柱;唐成伟;江美玲;梁平治;;横向多晶硅p~+p~-n~+结非致冷红外焦平面[A];2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集[C];2004年
4 程正喜;马斌;张学敏;翟厚明;施永明;;热导可变的高速微测辐射热计[A];第九届全国光电技术学术交流会论文集(上册)[C];2010年
5 周起勃;葛军;潘兆鑫;戚雅德;闵凯;;非致冷红外焦平面热像仪研制[A];'99十一省(市)光学学术会议论文集[C];1999年
6 夏新蜀;;ATIR—H300型红外热像仪临床应用观察[A];中华医学会第九次全国物理医学与康复学学术会议论文集[C];2007年
7 黄江平;杨春丽;黎力;袁斌;;混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜制备及实用[A];第八届真空技术应用学术年会论文集[C];2005年
8 沈广霞;陈艺聪;林昌健;;TiO_2-VO_x纳米复合膜制备及耐腐蚀性研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
9 周立伟;;微光与热成像——机遇与挑战[A];新世纪 新机遇 新挑战——知识创新和高新技术产业发展(上册)[C];2001年
10 贡树行;;室温红外探测器及其应用的新进展[A];'99十一省(市)光学学术会议论文集[C];1999年
中国重要报纸全文数据库 前6条
1 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 焦继伟;MEMS满足未来移动通信需要[N];中国电子报;2004年
2 本报记者 樊哲高;构筑抗击“非典”新防线[N];中国电子报;2003年
3 本报记者 李咏成 通讯员 习新启;政协提案与中国光电子产业的崛起[N];人民政协报;2001年
4 程远桦;“体检王”敢超世界先进水平[N];科技日报;2004年
5 ;WDM技术走进城域应用[N];人民邮电;2003年
6 解放军总医院研究员 陈运奇;远程医学:现代医疗模式支撑点[N];健康报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 冯飞;微机械法布里-泊罗干涉型光学读出非致冷热成像技术研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
2 缪国庆;非致冷红外探测材料InGaAs的生长和性质研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
3 顾文韵;微测辐射热计红外焦平面探测器模型、仿真与设计应用研究[D];南京理工大学;2002年
4 汪涛;UMBIRFPA的计算机仿真及非均匀性校正研究[D];重庆大学;2001年
5 杨旸;非致冷红外焦平面探测器系统中若干关键技术的研究[D];浙江大学;2011年
6 袁宁一;氧化钒红外敏感膜和非致冷焦平面成像阵列研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
7 王彬;高灵敏氧化钒非致冷红外探测器研究[D];华中科技大学;2012年
8 孟丽娅;微测辐射热计非均匀性及新型校正读出电路研究[D];重庆大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈飞;微型非致冷红外传感芯片的热变形和电容感应分析[D];暨南大学;2010年
2 罗辑;非致冷微测辐射热计电路研究[D];电子科技大学;2002年
3 凌小兵;非致冷红外焦平面的信号采集及预处理[D];南京理工大学;2004年
4 邓莉;64×64非致冷红外焦平面器件读出信号处理电路设计[D];电子科技大学;2002年
5 韦晓莹;基于VO_X薄膜的电致阻变特性的研究[D];天津理工大学;2011年
6 李越;一维VO_x纳米材料阵列的制备及其气敏性能研究[D];武汉理工大学;2012年
7 李兴邦;非致冷红外瞄准镜系统技术研究[D];南京理工大学;2008年
8 黄竹邻;非致冷红外图像DSP实时处理系统[D];华中科技大学;2005年
9 李晓峰;有机非致冷热释电薄膜及其热绝缘结构的研究[D];电子科技大学;2002年
10 于冬;非致冷红外焦平面读出电路噪声分析[D];电子科技大学;2004年
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