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《光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集》2006年
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在蓝宝石光纤端面上生长ZnO薄膜的方法及光学性能分析

周红  隋成华  陈乃波  许晓军  魏高尧  蔡萍根  
【摘要】:利用ZnO薄膜的光学吸收边随温度变化的光学特性制备紫外温度传感器是光学探测器研究中的一个重要领域,而在光纤端面上制备高质量的ZnO薄膜是该类实用器件的基础和关键。实验利用电子束蒸发技术在蓝宝石光纤端面上生长具有良好的c轴择优取向的ZnO晶体薄膜,将该样品进行高温退火后测量了样品的透射率变化情况,结果显示退火过程仅对薄膜在可见光波段(400nm~450nm)透射率有一定的减小,而在紫外波段(300nm~380nm)的透射率影响极小,表明了该ZnO晶体薄膜具有较好的温度稳定性。
【作者单位】:浙江工业大学应用物理系
【基金】:浙江省教育厅资助项目(20051436)
【分类号】:O484.1

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