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《第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集》2011年
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iPM:一个用于低温等离子体研究的两维隐式PIC/MC模拟程序

姜巍  王虹宇  张权治  毕振华  王友年  
【摘要】:正低温等离子体典型的电子密度和温度范围分别为10~7~10~(13)cm~(-3)和l~100eV,电离度为0.0l%~10%。典型的放电构型包括直流、射频(容性耦合等离子体和感应耦合等离子体)、微波回旋共振等离子体等。低温等离子体是一个多尺度问题,计算量很大,相当多的两维模拟只有借助超级计算机和专门算法才能完成,因此绝大部分工作都是一维的,二维以上的报道很少。低温等离子体研究中高频电子

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