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《第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集》2011年
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ECR等离子体和PLA等离子体相互作用的研究

丁大宇  孙剑  许宁  应质峰  吴嘉达  
【摘要】:正对气体的电子回旋共振(ECR)微波放电可以产生高密度、高电离度、低工作气压、大体积均匀的ECR等离子体。对固体或液体的脉冲激光烧蚀(PLA)可以产生超饱和度、高电离度、高速膨胀的瞬变PLA等离子体。人们对这两种等离子体的特性已开展了深入的研究,也发展了多种基于等离子体的材料制备和处理技术。在对气体ECR微波放电的同时对固体进行脉冲激光烧蚀可以同时产生ECR
【作者单位】:复旦大学光科学与工程系
【分类号】:O536

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