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随机表面粗糙度对微气体轴承性能的影响

张文明  
【摘要】:正随着微机电系统(MEMS)技术的发展,摩擦、磨损失效问题已成为影响MEMS性能和可靠性的重要因素。超薄膜气体润滑技术是MEMS和微流体器件(包括微轴承、微管道、微阀、微泵及硬盘等)设计和研制中不可缺少的重要组成部分。作为典型的微流体器件,微气体轴承在微电机、动力MEMS等微旋转机械领域得到广泛应用。

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