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《中国力学学会学术大会'2009论文摘要集》2009年
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微机械阵列传感器设计与实现

薛长国  黄渊  张青川  刘红  伍小平  
【摘要】:正提出了一种全新的微梁阵列传感器系统光路实现阵列化微梁传感器的研究。首先利用单片机对半导体激光器进行时序开关控制,并利用高精度光学二维位移调节平台对多组激光、位置敏感器及微梁阵列进行调整,将激光间离调整到100μm的量级,对阵列微悬臂梁端部的

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