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《中国力学学会学术大会'2009论文摘要集》2009年
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薄膜体声波谐振器压电多层板结构振动分析

王骥  柳建松  杜建科  黄德进  
【摘要】:正薄膜体声波谐振器(film bulk acoustic resonator,FBAR)作为一种新型压电声波器件,在GHz频率段以及要求谐振器元件与电路的较好兼容的无线通讯系统中越来越受到重视,其传感器应用也开始受到关注。这主要是得益于薄膜体声波谐振器频率高、体积小和与电路兼容性好的独特性能。固嵌式薄膜体声波谐振器(solidlymounted resonator,SMR)是常见薄膜体声波谐振器结
【作者单位】:宁波大学工学院压电器件技术实验室
【基金】:国家自然基金资助项目(10772087)
【分类号】:TN751.2

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