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《损伤、断裂与微纳米力学进展:损伤、断裂与微纳米力学研讨会论文集》2009年
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静电驱动压电检测微机械陀螺仪的力学分析

孙博华  蒋玉燕  
【摘要】:基于梳状电极静电驱动原理和压电薄膜的压电效应,本文对静电驱动压电检测微机械陀螺仪进行了力学分析,并进行了数值计算,最后得到压电薄膜输出的总电荷与输入角速度的解析式。结果表明输出总电荷和输入角速度成正比关系,从而只需通过某种方法测得输出的总电荷,就能达到测量角速度的目的。

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