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《第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集》2009年
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射频大气压介质阻挡放电等离子体特性的实验研究

王森  乐沛思  李果  李和平  包成玉  
【摘要】:正近年来,由于射频大气压辉光放电等离子体源具有均匀、稳定、活性粒子浓度高等特点,其在等离子体刻蚀、表面沉积、消毒灭菌、微生物诱变育种等领域的研究受到了国内、外研究者的广泛关注。获得大气压射频辉光放电等离子体既可以采用裸露金属电极结构,也可以采用金属表面覆盖介质层的电极结构。研究表明,采用介质阻挡电极结

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