極化多彩數位全像顯微鏡在曲面量測之應用
【摘要】：传统的干涉显微镜例如白光干涉仪(whit-light interferometer)或相位移干涉仪(phase-shifting interferometer)由于需要记录多张干涉片(interferogram)才能量测出物体的三维轮廓,因此不利于需要快速量测或环境振动恶劣的场合。数位全像显微术(digital holography)拥有高解析及快速量测的特性,在离轴全像下还可达到一次拍摄(one-shot)即可重建物体三维轮廓之目的,因此对于环境震动的敏感度较低,适合用于生产线上的检测。但是传统的单频数位全像显微术对于表面高度大于量测波长时,重建后则会产生相位混淆的现象。本研究将以极化多彩(multi-color)光源作照明,并在one-shot下改善重建后之相位混淆。
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