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微结构动态测试技术研究进展

何小元  乔玲  
【摘要】:为了研究微结构的动力学特性,早在上个世纪90年代初就有人提出研究微系统动力学特性的微结构动力学或微动力学(microdynamics),但由于微结构的尺寸小、频率高给微结构的动态参数测试带来了极大的困难。2001年美国加州大学伯克莱分校Berkeley Sensor and Actuator Center的C.Rembe利用高速摄像机拍摄,测量了微涡轮和微继电器的平面运动参数,获得了微涡轮转角和微继电器偏转角度随时间的变化曲线。2002年他又用M.Hart等人于2000年研制的频闪干涉系统研究了微镜和微陀螺的三维运动特性。近两年,德国Polytec公司基于激光多谱勒扫描技术研制的显微扫描测振仪,很好地解决了高至20MHz的微结构动态特性测量,通过FFT计算不仅可以得到样品的频域参数,结合光点扫描也可以计算出样品的振型。瑞士Lyncee Tec利用数字全息技术和频闪测量技术不仅使测量频率达到了25MHz,而且可以获得全场的位移分布,即振型图。

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