收藏本站
《第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集》2008年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

薄膜体声波谐振器(FBAR)的结构制备工艺研究

黄光俊  石玉  杨杰  赵宝林  钟慧  
【摘要】:薄膜体声波谐振器是基于MEMS制造技术而迅速发展起来的器件,由于其具有频率高、体积小、承受功率大、Q值高、并与集成电路工艺兼容等诸多优点,它成为无线通信应用领域最具有潜力的器件之一。MEMS制造技术贯穿于体声波谐振器的整个制备工艺过程,是实现FBAR器件的基础工艺。本文简要阐述了薄膜体声波谐振器的工作原理,介绍了其三种结构制备的各自特点,并结合MEMS制造技术对各个结构的制作工艺进行了详细分析和探讨,最后对FBAR器件的主要封装技术进行了简要介绍。

【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 张正元,徐世六,刘玉奎,杨国渝,税国华;用于MEMS的硅湿法深槽刻蚀技术研究[J];微电子学;2004年05期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 李志伟;(100)、(110)硅片湿法各向异性腐蚀特性研究[D];武汉理工大学;2008年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 徐安安;;论MEMS传感器的应用与发展[J];现代商贸工业;2011年13期
2 刘岩;赵成龙;聂萌;秦明;;CMOS电容式湿度传感器特性研究[J];电子器件;2011年04期
3 宋轶琳;林楠森;刘春秀;罗金平;王利;蔡新霞;;离体电生理检测微电极阵列传感器的设计与制备(英文)[J];纳米技术与精密工程;2011年03期
4 许高斌;朱华铭;陈兴;;不等高梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器[J];电子测量与仪器学报;2011年08期
5 郭涛;林大为;向婷;;MEMS低量程微加速度计的设计[J];微电子学;2011年03期
6 方玉明;李普;;考虑边缘效应的平行平板式静电微执行器Pull-in模型[J];传感技术学报;2011年06期
7 李琳;陈力恒;沈消寒;王国发;臧家伟;;基于声振法的西瓜无损检测器[J];工业控制计算机;2011年06期
8 韩磊;;一种开路短截线结构的耦合式微波功率传感器[J];微波学报;2011年03期
9 李蕾;刘卫东;;智能遥控器中的MEMS惯性传感器数据处理[J];电脑知识与技术;2011年19期
10 杨玉华;石云波;张斌珍;;MEMS高量程加速度传感器封装技术仿真研究[J];中北大学学报(自然科学版);2011年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 黄光俊;石玉;杨杰;赵宝林;钟慧;;薄膜体声波谐振器(FBAR)的结构制备工艺研究[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
2 陈新隽;刘晓平;戴若犁;刘昊扬;;多MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年
3 梁杰;李中华;;MEMS的微管道流动特征数值模拟研究[A];2003空气动力学前沿研究论文集[C];2003年
4 于华男;张勇;马小艳;;制导弹药用MEMS惯性导航系统发展与关键技术综述[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
5 张玉祥;李华成;马柳艺;;基于MEMS器件的交互笔运动跟踪研究[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅰ[C];2011年
6 胡星星;滕云田;;基于MEMS传感器的小型智能化强震仪[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
7 李建飞;薛兵;张俊峰;朱小毅;王晓蕾;;应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
8 张文明;孟光;;MEMS旋转机械微转子结构的材料选用研究[A];第9届全国转子动力学学术讨论会ROTDYN'2010论文集[C];2010年
9 陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A];教育部中南地区高等学校电子电气基础课教学研究会第二十届学术年会会议论文集(下册)[C];2010年
10 赵兴海;杜亦佳;郑英彬;陈颖慧;高杨;鲍景富;苏伟;;D波段MEMS波导滤波器研究[A];2011年全国微波毫米波会议论文集(下册)[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;测试会议聚焦MEMS[N];计算机世界;2003年
2 ;欧洲的MEMS工业[N];中国电子报;2002年
3 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 焦继伟;MEMS满足未来移动通信需要[N];中国电子报;2004年
4 易人;MEMS:小角色的大未来[N];计算机世界;2003年
5 ;Intel悄然推出手机MEMS模块[N];计算机世界;2004年
6 刘恕;微机电系统:从能看到能用[N];科技日报;2005年
7 本报记者 徐勐 通讯员 苏媛;国家高新区MEMS研究院落户淄博[N];淄博日报;2010年
8 ;传感器热衷于MEMS市场将加速整合[N];电子报;2008年
9 记者 卫新华;我市全面启动MEMS研发和产业化工作[N];重庆日报;2001年
10 中电元协敏感元器件与传感器分会秘书长 齐文杰;MEMS传感器进驻汽车发动机[N];中国电子报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 董良;MEMS集成室温红外探测器研究[D];清华大学;2004年
2 杨海波;多孔硅基MEMS非制冷红外探测器微结构与工艺研究[D];天津大学;2010年
3 张正元;射频微机械开关与放大器关键技术研究[D];重庆大学;2004年
4 张进忠;压电体声波微生物传感及其应用研究[D];湖南大学;2001年
5 王佩红;基于MEMS技术的微型电磁式振动能量采集器的研究[D];上海交通大学;2010年
6 肖功利;MEMS金属/电介质光子晶体的强透射特性研究[D];复旦大学;2009年
7 李庄;用于高场不对称波形离子迁移谱仪的MEMS振簧式静电计研究[D];中国科学技术大学;2010年
8 王春田;MEMS数字检波器采集系统技术研究[D];中国地质大学(北京);2011年
9 关乐;基于宏模型技术的MEMS系统级仿真研究[D];大连理工大学;2011年
10 杜广涛;新型MEMS磁敏传感器的研究[D];西南交通大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 宿智娟;MEMS宽带毫米波天线阵列研究[D];上海交通大学;2010年
2 付宇辉;基于MEMS航位推算系统的设计与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
3 曾昊骋;MEMS开关与频率可重构天线的研究与设计[D];电子科技大学;2010年
4 华晨辉;MEMS超声分离器的二维简正模式的研究及实验分析[D];电子科技大学;2010年
5 赵明锐;基于MEMS硅基底L波段微带天线的研究与设计[D];电子科技大学;2010年
6 孟丽娜;基于MEMS的微驱动器研制及其特性研究[D];黑龙江大学;2005年
7 苑海静;船用MEMS航姿测量系统算法研究与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
8 牛凯;4×4MEMS光开关阵列的设计与实验研究[D];清华大学;2004年
9 赵磊;梳齿式MEMS光开关的分析与改进[D];西安电子科技大学;2010年
10 孙发威;扭臂式MEMS光开关的建模与优化[D];西安电子科技大学;2010年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026