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《第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集》2008年
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薄膜体声波谐振器结构与振动分析

王骥  柳建松  杜建科  黄德进  
【摘要】:无线通讯终端的多功能化发展对射频器件提出了微型化、高频率、高性能、低功耗、低成本等高技术要求。现在常用的射频器件技术一般基于介质滤波器技术和声表面波技术,不能完全满足快速发展的通讯技术要求。微波介质技术有很好的性能但体积太大,声表面波谐振器体积较小,但存在工作频率低、插入损耗较大、功率容量较小并且容易受温度变化影响的缺点。薄膜体声波谐振器(Film BulkAcoustic Wave Resonators,FBAR)技术是近年来随着加工工艺技术水平的提高和现代无线通讯技术发展,尤其是个人无线通信技术的快速发展而出现的一种新的射频器件技术,具有性能良好和体积小的特点并且频率相对较高。本文介绍了FBAR技术的国内外研究现状和进展,重点说明了FBAR的工作原理、FBAR的厚度拉伸与厚度剪切振动模型,简单总结了FBAR结构以及选择压电材料、电极材料和布垃格反射层材料的问题。在此基础上,着重分析了FBAR结构中电极厚度对压电薄膜振动频率影响问题以及为什么布拉格反射层选择四分之一波长的问题。本文通过对FBAR系统性和全面性的介绍,力图达到使初步接触FBAR的研究人员清晰了解FBAR原理、结构和性能的基本目的。另一方面,通过对薄膜体声波谐振器的结构、材料和振动模式的介绍,相应的振动模型和关键技术问题也就变得清晰明了,为开展必不可少的分析和精确设计奠定了基础。

【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 楚合群;晶体叠层型薄膜体声波滤波器的设计与仿真研究[D];昆明理工大学;2010年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 张德志;李焰;钟方平;林俊德;王等旺;王长利;;冲击波壁面反射压力的压杆测试法[J];兵工学报;2007年10期
3 纪明明;朴林华;李白华;;气流式水平姿态传感器的三维建模及计算[J];北京信息科技大学学报(自然科学版);2010年02期
4 王星;朴林华;余全刚;;气流式角速度陀螺的温度场和压强有限元分析[J];北京信息科技大学学报(自然科学版);2011年04期
5 张保丽;朴林华;梅传志;;腔体结构对射流陀螺分辨率影响的有限元分析[J];北京信息科技大学学报(自然科学版);2012年03期
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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2 王骥;柳建松;杜建科;黄德进;;薄膜体声波谐振器(TFBAR)厚度剪切振动频率的计算[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
3 董天晓;王丽坤;秦雷;李莉;吴炜伟;王钢;;压电圆柱叠堆换能器的有限元分析[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
4 王德石;杜贻群;任斌;;低频钹式换能器的性能分析与设计[A];第十二届全国非线性振动暨第九届全国非线性动力学和运动稳定性学术会议论文集[C];2009年
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6 王骥;陈玉梅;阳丽君;潘俏俏;赵岷江;;基于Mindlin板理论的用于谐振器设计的石英晶体板振动分析程序[A];Proceedings of the 2010 Symposium on Piezoelectricity,Acoustic Waves and Device Applications[C];2010年
7 鲍诗杰;徐志科;金龙;;叠层型压电致动器的驱动电源研究[A];第十三届中国小电机技术研讨会论文集[C];2008年
8 陈异;监德均;陈强;肖定全;朱建国;;(1-x)BiScO_3-xPbTiO_3铁电陶瓷的制备与性能研究[A];四川省电子学会传感技术第九届学术年会论文集[C];2005年
9 汤亮;汪承灏;郝震宏;乔东海;;薄膜体声波谐振器建模与仿真[A];2007’促进西部发展声学学术交流会论文集[C];2007年
10 康丹;;热释电探测技术在综放面生产安全中的研究应用[A];第3届全国煤炭工业生产一线青年技术创新文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 杜景红;凝胶注模成型法制备1-3型PMN-PZT/环氧树脂压电复合材料研究[D];昆明理工大学;2009年
2 曲磊;多场耦合电磁弹性体的基本理论与计算方法研究[D];合肥工业大学;2011年
3 李敏毅;铌酸锂高频超声换能器的研制与输出功率测量[D];华南理工大学;2011年
4 钱征华;压电复合材料及层状结构中弹性耦合波问题研究[D];西安交通大学;2007年
5 唐旭晖;压电加速度计有限元模型及其应用研究[D];燕山大学;2012年
6 李侃;FBAR微质量传感器若干关键问题的研究[D];浙江大学;2011年
7 董树荣;微波介质陶瓷薄膜的研究[D];浙江大学;2003年
8 鄢洪建;Bi_(0.5)Na_(0.5)TiO_3基无铅压电陶瓷体系的设计、制备及性能研究[D];四川大学;2004年
9 赵强;基于MEMS技术的微型泵的研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2004年
10 余厉阳;微型压电变压器的研究[D];浙江大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张斌;压电双晶片型微位移放大机构研究[D];河南理工大学;2010年
2 戴顺洪;NBT-KBT-100x压电薄膜的制备及表征[D];湘潭大学;2010年
3 何涛焘;纵波压电传感器瞬态特性的模拟与实验研究[D];湘潭大学;2010年
4 袁肖肖;薄壁铜管壁厚控制的超声检测系统[D];华东理工大学;2011年
5 杨鹏远;铌酸钾钠基无铅压电陶瓷制备与性能研究[D];华北电力大学(北京);2011年
6 梁建波;基于微小阀圆形压电晶片驱动器的作用机理与试验研究[D];吉林大学;2011年
7 张广超;轮胎压力报警器用压电发电装置的优化设计与试验研究[D];吉林大学;2011年
8 耿伟强;用于羟基磷灰石冷喷涂的送粉系统研究[D];吉林大学;2011年
9 王龙;共振型压电泵的设计理论与试验研究[D];吉林大学;2011年
10 陈巨源;压电驱动低压水液压节流阀性能研究[D];大连海事大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 蒋松涛;吴孟强;吴勇;张树人;;薄膜体声波滤波器的材料、设计及应用[J];材料导报;2006年11期
2 汤亮;郝震宏;乔东海;汪承灏;;薄膜体声波谐振器的梯形射频滤波器设计[J];声学技术;2008年02期
3 本刊编辑部;;非硅MEMS技术及其应用[J];实验室研究与探索;2009年03期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 胡宽;顾豪爽;张凯;胡光;吴小鹏;熊娟;;A1N薄膜腔声谐振器的制备及性能研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
2 莫绍孟;赵建军;吴光敏;陈剑鸣;;材料尺寸属性对薄膜体声波谐振器性能的影响探讨[A];2008年全国声学学术会议论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 金浩;薄膜体声波谐振器(FBAR)技术的若干问题研究[D];浙江大学;2006年
2 杨义发;脉冲激光沉积ZnO薄膜及其性质研究[D];华中科技大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 于毅;RF AlN薄膜体声波谐振器[D];清华大学;2004年
2 俞科挺;FBAR双工器的分析和设计[D];浙江大学;2006年
3 石哲;用于FBAR技术的AIN薄膜的研究[D];浙江大学;2006年
4 陈海宾;用于FBAR的PZT薄膜制备研究[D];浙江大学;2006年
5 怡晓玲;压电声波器件的多场耦合问题ANSYS模拟与分析[D];兰州大学;2009年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 刘启能;产生半波损失的条件究竟是什么[J];大学物理;2000年06期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 谢仁艿,康琳,陈亚军,韦戌,吴培亨;基于NbN,AlN技术的体声波器件研究[J];低温物理学报;2005年03期
2 池志鹏;赵正平;吕苗;杨瑞霞;;薄膜体声波谐振器及其应用[J];半导体技术;2006年05期
3 蒋松涛;吴孟强;吴勇;张树人;;薄膜体声波滤波器的材料、设计及应用[J];材料导报;2006年11期
4 刘燕翔,任天令,刘理天;采用PZT薄膜的体声波RF滤波器设计[J];压电与声光;2001年01期
5 任苙萍;;SiTime仗剑SiRes融合硅微机械共振技术 大举挺进传统石英振荡器、时钟和射频市场[J];电子与电脑;2006年06期
6 Roger D.Colvin,王讯;超高频(UHF)声振荡器[J];压电与声光;1981年05期
7 来晋明;羊恺;宁俊松;;高温超导窄带低插损小型化双工器的仿真研究[J];低温物理学报;2008年04期
8 青波;最小的光子谐振器[J];武汉科技大学学报(自然科学版);2000年01期
9 左涛;方兰;赵新杰;孙冬艳;阎少林;;高温超导滤波器研制[J];南开大学学报(自然科学版);2006年04期
10 张钦鹏;微波小型化固态介质谐振器振荡器的发展[J];半导体情报;1995年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王骥;柳建松;杜建科;黄德进;;薄膜体声波谐振器结构与振动分析[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
2 崔巍;;化学腐蚀高基频石英谐振器的研制[A];中国电子学会第十四届电子元件学术年会论文集[C];2006年
3 周卫;;低损耗、1千1百兆赫兹声表面横波谐振器的研究及应用[A];中国声学学会1999年青年学术会议[CYCA'99]论文集[C];1999年
4 邓玉芬;过明益;范德睿;;小型微带发夹式谐振器滤波器及应用ADS软件的优化设计[A];2001年全国微波毫米波会议论文集[C];2001年
5 墨晶岩;马哲旺;徐得名;;一种新型多层低温共烧陶瓷三级带通滤波器的设计[A];2003'全国微波毫米波会议论文集[C];2003年
6 褚庆昕;张琰;;测量谐振器Q值的多点法[A];1993年全国微波会议论文集(下册)[C];1993年
7 雷爱红;;声表面波振荡器的设计优化及应用[A];2009’中国西部地区声学学术交流会论文集[C];2009年
8 赵晓坤;延波;王志刚;张勇;;一种新型宽带小型化均衡器[A];2009年全国天线年会论文集(下)[C];2009年
9 姚若河;林璇英;吴萍;余楚迎;林揆训;石旺舟;;PCVD法制备多晶硅薄膜中退火过程的研究[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
10 林海立;毛军发;;X波段PBG微带结构谐振器[A];2003'全国微波毫米波会议论文集[C];2003年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 黄英;首条端对端薄膜硅电池生产线成功安装[N];中国企业报;2009年
2 记者 杜华斌;新型高效微型光谐振器研发成功[N];科技日报;2010年
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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3 陈付昌;新型平面多频带滤波器研究[D];华南理工大学;2010年
4 厉以宇;多维结构薄膜光子器件的研究[D];浙江大学;2008年
5 张小川;高性能小型化射频及微波滤波器的研究[D];电子科技大学;2009年
6 李霖;微带小型化高性能滤波器的研究[D];上海交通大学;2009年
7 程剑平;带通Σ-Δ调制器的研究和设计[D];东南大学;2006年
8 官雪辉;无线通信微波双频带通滤波器研究[D];上海大学;2007年
9 毛睿杰;高性能小型化平面滤波器设计与应用研究[D];电子科技大学;2007年
10 沈玮;基片集成波导与其它平面结构在滤波器设计中的应用研究[D];上海交通大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 于毅;RF AlN薄膜体声波谐振器[D];清华大学;2004年
2 莫绍孟;薄膜体声波谐振器的分析与设计[D];昆明理工大学;2009年
3 包达群;PZT薄膜材料的生长与应用[D];厦门大学;2009年
4 陈兴科;脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及发光特性研究[D];郑州大学;2005年
5 孔玮曼;应用于X射线FPD的非晶硒膜的制备方法研究[D];清华大学;2005年
6 张树明;C+L波段WDM薄膜滤波器及测试系统研究[D];吉林大学;2009年
7 陈炜;薄膜体声波滤波器(FBAR)的研究与建模[D];浙江大学;2005年
8 吴凯敏;W波段毫米波振荡器及SIW基谐振腔设计[D];电子科技大学;2008年
9 吉雅图;纳米二氧化锡薄膜的稀土钕掺杂效应[D];内蒙古大学;2005年
10 宋达;一种基于MEMS的单晶硅纳米线制造技术研究[D];浙江大学;2005年
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