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《第八届全国动力学与控制学术会议论文集》2008年
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参数激励下静电驱动MEMS共振传感器的非线性动力特性研究

张文明  孟光  周健斌  陈杰宇  
【摘要】:提出参数激励作用下静电驱动微机电系统(MEMS)中梁式微结构共振传感器的动力学模型,采用多尺度方法对微系统的动力学方程进行摄动分析,探讨直流偏置电压、压膜阻尼和交流激励电压幅值对系统频率响应、共振频率的影响规律,结果表明:直流偏置电压和交流电压幅值都具有软化效应,且使共振频率漂移到较小的数值范围,压膜阻尼对共振频率的影响较小,但是增大压膜阻尼会使稳态振幅的峰值明显下降。
【作者单位】:上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室
【分类号】:TP212

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