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《第九届全国振动理论及应用学术会议论文集》2007年
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固支梁结构的电容式RF MEMS开关的机电耦合模拟

刘肖  伞海生  陈旭远  
【摘要】:用ANSYS有限元分析软件对RFMEMS开关的三种基本固支梁结构模型进行了机电耦合模拟。通过对开关进行一系列的静态、谐振态、模态以及瞬态分析,讨论了采用不同桥膜结构的开关的激励电压、固有频率,阻尼Q因子、开关时间的变化。并结合基本结构的分析数据设计了一种曲臂折合式的桥膜结构,从理论上验证了此结构在同等框架体积下,具有更低的模拟下拉电压、共振频率,开关时间,以及更稳定的工作模态。

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