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考虑边缘效应后微镜新的静电力计算模型及对静态特性的影响分析

陆静  向宇  袁丽芸  马小强  
【摘要】:正基于计及边缘效应的矩形平行板静电力计算公式,建立了扭转微镜的非线性静力学模型,分析了边缘效应对微镜静态特性的影响,并通过与实验数据的比较,证明本文所建立的模型更接近于实

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