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硅微结构材料的疲劳性能与摩擦学性能评价方法

孟永钢  吴昊  郭占社  苏才钧  
【摘要】:正硅微结构材料的疲劳性能和摩擦磨损是影响硅基MEMS器件工作可靠性的重要因素。为了测试和评价单晶硅和多晶硅微构件的拉伸疲劳、弯曲疲劳以及摩擦磨损性能,研制了硅微构件拉伸疲劳

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