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《第十三届全国等离子体科学技术会议论文集》2007年
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星形MPCVD装置上制备类金刚石薄膜的研究

熊礼威  
【摘要】:正~~
【作者单位】:武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室
【分类号】:TB383.2

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