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《第十三届全国等离子体科学技术会议论文集》2007年
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电子回旋共振放电的数值模拟

金晓林  
【摘要】:正随着低温等离子体在微电子工业的广泛应用和快速发展,对低气压、高密度等离子体源的需求与日俱增。目前可采用(电子回旋共振)ECR放电、感应耦合射频放电、螺旋波放电等方式生成。ECR放电生成的等

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