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《第十三届全国等离子体科学技术会议论文集》2007年
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微量水对PECVD方法制备碳纳米管形貌的影响

张春梅  边心超  陈强  付亚波  张跃飞  
【摘要】:利用介质阻挡放电等离子体化学气相沉积技术,在蒸镀有25nmNi催化剂层的Si基片上,以CH4和H2作为反应气体,在700℃下制备了碳纳米管,并研究了微量水的引入对碳纳米管形貌的影响。SEM结果表明,不加水时,制备出的碳纳米管直径不均匀,分布在40-90nm之间,且表面粗糙,呈链节状的结构;当加入少量水时,制备出的碳纳米管直径变得均匀,为70nm左右,表面变为瘤状结构;当水的流量进一步增加时,得到的碳纳米管出现了枝状结构。原位观测了加水前后等离子体区的发射光谱,并对纳米管形貌变化的原因进行了初步的分析。
【作者单位】:北京印刷学院等离子体物理与材料研究室
【基金】:北京印刷学院青年基金资助
【分类号】:TB383.1

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【共引文献】
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1 张春梅;边心超;陈强;付亚波;张跃飞;;微量水对碳纳米管形貌的影响及其机理研究[J];物理学报;2008年07期
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