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《第十三届全国等离子体科学技术会议论文集》2007年
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PET瓶内镀DLC薄膜的结构、成分研究

杨莉  付亚波  陈强  张跃飞  
【摘要】:本文采用射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以C2H2为碳源,Ar为稀释气体,在普通PET瓶内制备类金刚石(Diamond-like Carbon,简称DLC)薄膜作为高阻隔层。采用傅立叶红外透射光谱(FTIR)对其进行结构、成分进行分析。结果表明,射频等离子体化学气相沉积方法,可以在很短时间内于PET瓶内沉积一层纳米厚度的DLC膜。傅立叶红外透射光谱(FTIR)分析表明选用规格不同的电极,对于所制备的DLC的结构影响很大,同时薄膜结构中SP2和SP3比例和放电功率有较大的关系,而薄膜的成分受乙炔的比例的影响也不容忽视。
【作者单位】:北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室
【分类号】:O484;O539

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