收藏本站
《第十三届全国等离子体科学技术会议论文集》2007年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

影响磁控溅射均匀性的因素

王军生  童洪辉  赵嘉学  韩大凯  戴彬  
【摘要】:用中频孪生靶磁控溅射实验平台,对影响磁控溅射生成的薄膜厚度均匀性的因素进行了实验。结果表明,磁场的均匀性和工作气体的均匀性是影响成膜均匀性的主要因素。针对实验结果,提出了用磁场和气体相互配合达到高的镀膜均匀性。
【作者单位】:核工业西南物理研究院
【分类号】:O484

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 赵嘉学,童洪辉;磁控溅射原理的深入探讨[J];真空;2004年04期
2 杨峰,张晓卫;直流磁控溅射中Ar气压强对TbFeCo磁光薄膜均匀性的影响[J];真空;2000年06期
3 惠迎雪,杭凌侠,徐均琪,陈伟;不同磁控溅射模式膜厚均匀性研究[J];西安工业学院学报;2003年01期
4 徐均琪,易红伟,蔡长龙,杭凌侠;磁控溅射膜厚均匀性与靶-基距关系的研究[J];真空;2004年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 郭亚军,李庆芬,尹树桐,任正义,王俊;磁溅镀膜轴承新材料的研究[J];哈尔滨工程大学学报;2001年06期
2 李喜波;唐晓红;吴卫东;唐永建;王红艳;杨向东;;磁控溅射法制备金团簇纳米颗粒及性能表征[J];强激光与粒子束;2006年06期
3 徐均琪,易红伟,蔡长龙,杭凌侠;磁控溅射膜厚均匀性与靶-基距关系的研究[J];真空;2004年02期
4 尹金锒;王德苗;董树荣;张兴义;;工业用巨型磁控溅射靶电源反馈控制的研究[J];真空;2006年01期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 尹金锒;王德苗;董树荣;张兴义;;工业用巨型磁控溅射靶电源反馈控制的研究[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 郭亚军;轴瓦磁控溅射镀膜技术及其材料力学性能研究[D];哈尔滨工程大学;2002年
2 刘超卓;含氦钛膜的制备、表征及退火行为研究[D];复旦大学;2007年
3 李喜波;金属小团簇的密度泛函理论研究和金属纳米团簇材料的实验研究[D];四川大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 贾颖;基于磁控溅射技术的薄膜热电偶测温系统[D];大连理工大学;2006年
2 邓凌超;靶基相对位置对C/Cr复合镀层性能和组织结构的影响[D];西安理工大学;2006年
3 邢丽芬;矩形平面靶磁场分析及薄膜厚度模拟[D];东北大学;2006年
4 杨维虎;常温下制备表面抗菌不锈钢的研究[D];四川大学;2006年
5 侯晓秋;高功率半导体激光器腔面镀膜研究[D];长春理工大学;2007年
6 陈明;磁控溅射过程中溅射产额及靶材刻蚀的模拟计算研究[D];合肥工业大学;2007年
7 宋永刚;阳极键合高压(脉冲)电源设计及键合工艺特性分析[D];太原理工大学;2007年
8 刘志远;磁控溅射制备TiAlN薄膜及性能分析[D];西华大学;2008年
9 蒋婧思;氧化锌掺铁稀磁半导体的制备和性质研究[D];北京交通大学;2008年
10 贾晓昀;磁控溅射制备氮化硅薄膜特性研究[D];北京交通大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 胡作启,李佐宜,缪向水,刘卫忠;磁控溅射薄膜的厚度均匀性理论研究[J];华中理工大学学报;1996年01期
2 惠迎雪,杭凌侠,徐均琪,陈伟;不同磁控溅射模式膜厚均匀性研究[J];西安工业学院学报;2003年01期
3 范正修,薛松生,何朝玲;磁控溅射薄膜的厚度分布[J];应用科学学报;1993年02期
4 龚建华,王雅婷,贾庆云;用中频溅射沉积的大面积SiO_2膜层损伤机制的探讨[J];真空;2003年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 代吉祥;杨明红;程芸;曹坤;廖俊生;张鹏程;;基于WO_3-Pd复合膜的D型光纤光栅氢气传感器[J];光子学报;2011年07期
2 杨海刚;尤天友;宋桂林;将玉荣;常方高;;反应溅射制备MoO_3薄膜及其电致变色响应时间研究[J];河南师范大学学报(自然科学版);2011年04期
3 吴文娟;张众;朱京涛;王风丽;陈玲燕;周洪军;霍同林;;14nm低原子序数材料多层膜的设计和制备[J];光学精密工程;2011年06期
4 余志强;谢泉;肖清泉;;Mg_2Si薄膜的磁控溅射制备及表征[J];材料导报;2011年12期
5 王元;蒋书文;陈湘亮;;Al_2O_3陶瓷基片上Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜可调介电性能的研究[J];功能材料;2011年S2期
6 罗庆洪;陆永浩;娄艳芝;;Ti-B-C-N纳米复合薄膜结构及力学性能研究[J];物理学报;2011年08期
7 刘梅;陈芳慧;王永红;张玉梅;李海波;;C底层厚度对FePt(001)织构生长的影响[J];兵器材料科学与工程;2011年04期
8 陈峰华;张敏刚;柴跃生;杨利斌;熊杰;;Ni-Mn-Ga磁控溅射靶材合金制备及性能[J];微纳电子技术;2011年09期
9 张玉梅;刘梅;于永生;王永红;李海波;费维栋;;FePt/Au多层膜的结构和磁性能研究[J];稀有金属材料与工程;2011年08期
10 孔岑;李辉;周建军;陈效建;陈辰;耿习娇;;MMIC用多层磁膜电感研究[J];固体电子学研究与进展;2011年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王军生;童洪辉;赵嘉学;韩大凯;戴彬;;影响磁控溅射均匀性的因素[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
2 姚吉升;唐三川;陈坚;王玺;周友元;黄军武;;ITO靶材在溅射过程中结瘤行为的研究[A];中国真空学会五届三次理事会暨学术会议论文集[C];2002年
3 徐政;俞晓正;沈志刚;;用磁控溅射方法在空心微珠表面镀纳米铜膜的研究[A];第八届全国颗粒制备与处理学术和应用研讨会论文集[C];2007年
4 刘艳涛;马剑平;;基于Atemga128的磁控溅射镀膜机(英文)[A];真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2009年
5 吴萌;黄佳木;郝晓培;;磁控溅射TaN_x/Ag/TaN_x低辐射复合膜的性能[A];2011中国功能材料科技与产业高层论坛论文集(第二卷)[C];2011年
6 黎明锴;彭友贵;;氮化碳薄膜合成方法进展[A];第十一届全国核物理大会论文集[C];2000年
7 梁建华;赵鹏冀;郝万立;施立群;;磁控溅射锆钒合金膜[A];中国工程物理研究院科技年报(2005)[C];2005年
8 姚为;吴爱萍;邹贵生;任家烈;;Ti表面磁控溅射Nb膜的研究[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
9 季雅静;秦会斌;叶丽云;;NiFe层厚度对薄膜磁阻性能的影响[A];浙江省电子学会2006年学术年会论文集[C];2006年
10 林晶;刘壮;孙智慧;高德;;负偏压对PET上磁控溅射氧化铝薄膜的影响[A];中国真空学会2008学术年会论文集[C];2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 中国建材技术装备总公司高级工程师 孙廷祥;防眩光是汽车膜最重要的性能[N];中国消费者报;2004年
2 信息产业部电子信息产品管理司 王勃华;技术水平不断提高 部分产品有所突破[N];中国电子报;2001年
3 本报记者 孙颖;北仪创新:真空龙头[N];中国企业报;2010年
4 罗庆;电磁干扰亟需科学抑制[N];中国电力报;2003年
5 王桂兰 杨春莉;强生膜推出高端建筑陶瓷膜[N];中国建材报;2010年
6 ;EH-4:寻找地下水的新式武器[N];中国矿业报;2004年
7 本报记者 武孝军 实习生 肖枚;殷志强来衡讲授“太阳能”[N];衡阳日报;2009年
8 记者 李明娟;亿元以上投资项目达57个[N];甘肃经济日报;2009年
9 记者 张立君;中科纳米:自清洁玻璃产业化先锋[N];中国建材报;2004年
10 记者 陈雅君;清华阳光打造中国可再生能源利用新形象[N];中国信息报;2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 魏艳君;磁控溅射SiC薄膜制备及其场发射相关性能研究[D];燕山大学;2010年
2 常学森;基于磁控溅射方法制备二氧化钛薄膜及其亲水特性研究[D];东北大学;2007年
3 张磊;辐照损伤材料的实验模拟研究:含氦薄膜制备及MAX相材料离子辐照行为[D];复旦大学;2011年
4 吴文娟;极紫外和软X射线窄带多层膜的研究[D];同济大学;2007年
5 李竹影;WO_3薄膜及器件的电致变色性能研究[D];华中科技大学;2005年
6 刘超卓;含氦钛膜的制备、表征及退火行为研究[D];复旦大学;2007年
7 许旻;氧化钒薄膜结构和性能研究[D];兰州大学;2006年
8 周玉锋;反应烧结碳化硅基底致密层制备及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
9 万红;TbDyFe薄膜的磁致伸缩性能及其与弹性、压电衬底复合效应研究[D];国防科学技术大学;2005年
10 刘毛;铪基高介电常数栅介质薄膜的制备及其物性研究[D];中国科学院研究生院(合肥物质科学研究院);2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王凤丹;玻璃基光刻铬掩膜板的膜系研究[D];合肥工业大学;2005年
2 王强;VLSI工艺中铝互连与蚀刻的研究[D];电子科技大学;2005年
3 何维凤;磁控溅射法制备ZnO透明导电薄膜组织与性能研究[D];江苏大学;2005年
4 杜永胜;全钙钛矿结构磁性隧道结的制备与性能研究[D];北京工业大学;2005年
5 黄伟霞;Mg_xZn_(1-x)O透明导电薄膜的制备及性能研究[D];浙江大学;2006年
6 张世权;磁控溅射法制备二氧化钛半导体薄膜的光致催化和亲水特性研究[D];兰州大学;2006年
7 高坤;近等原子比TiNi合金薄膜的制备与马氏体相变机理的研究[D];西安理工大学;2006年
8 秦丽霞;氨化硅基磁控溅射Ga_2O_3/Co薄膜制备GaN纳米结构和薄膜的研究[D];山东师范大学;2008年
9 张明伟;基于高频声表面波滤波器的AlN/金刚石多层膜制备研究[D];天津理工大学;2008年
10 李小娟;SnO_2材料的第一性原理研究及其薄膜制备[D];燕山大学;2008年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026