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《中国力学学会学术大会'2005论文摘要集(下)》2005年
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磁悬浮工作台精密运动控制实验及结果

李黎川  丁玉成  卢秉恒  
【摘要】:正 采用磁悬浮支撑以及平面电机直接驱动,可以消除工作台系统中的全部机械接触,因此可以实现工作台的高分辨率运动和定位。本文给出了一个6自由度磁悬浮工作台的设计和运动控制的实验结果。工作台由磁悬浮方式支撑,并由此实现其中3个自由度上的运动(重力方向的平动和两个绕水平轴的转动)。工作台在水平面内的运动(剩下的3个自由度)由平面电机驱动。本文集中讨论工作台磁悬浮部分的实验及结果。

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